ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਥਰਮਲ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਇੱਕ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਜਾਂ ਸਿਲਿਕਾ ਪਰਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਜੋ ਇੱਕ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ਿੰਗ ਏਜੰਟ ਦੇ ਨਾਲ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਨੰਗੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਬਣੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਥਰਮਲ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਖਿਤਿਜੀ ਟਿਊਬ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਉਗਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਸੀਮਾ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 900 ° C ~ 1200 ° C ਹੈ, ਅਤੇ "ਗਿੱਲੇ ਆਕਸੀਕਰਨ" ਅਤੇ "ਸੁੱਕੇ ਆਕਸੀਕਰਨ" ਦੇ ਦੋ ਵਿਕਾਸ ਮੋਡ ਹਨ। ਥਰਮਲ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਇੱਕ "ਵੱਡੀ" ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ CVD ਜਮ੍ਹਾ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਨਾਲੋਂ ਉੱਚ ਸਮਰੂਪਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਥਰਮਲ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਇੱਕ ਇੰਸੂਲੇਟਰ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਰਤ ਹੈ। ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਸਿਲੀਕਾਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਯੰਤਰਾਂ ਵਿੱਚ, ਥਰਮਲ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਇੱਕ ਡੋਪਿੰਗ ਬਲਾਕਿੰਗ ਪਰਤ ਅਤੇ ਸਤਹ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੀ ਹੈ।
ਸੁਝਾਅ: ਆਕਸੀਕਰਨ ਦੀ ਕਿਸਮ
1. ਖੁਸ਼ਕ ਆਕਸੀਕਰਨ
ਸਿਲੀਕਾਨ ਆਕਸੀਜਨ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਬੇਸਲ ਪਰਤ ਵੱਲ ਵਧਦੀ ਹੈ। ਸੁੱਕਾ ਆਕਸੀਕਰਨ 850 ਤੋਂ 1200 ° C ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਕੀਤੇ ਜਾਣ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੈ, ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਦਰ ਘੱਟ ਹੈ, ਜਿਸ ਦੀ ਵਰਤੋਂ MOS ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ ਗੇਟ ਦੇ ਵਾਧੇ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਉੱਚ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲੀ, ਅਤਿ-ਪਤਲੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਗਿੱਲੇ ਆਕਸੀਕਰਨ ਨਾਲੋਂ ਸੁੱਕੇ ਆਕਸੀਕਰਨ ਨੂੰ ਤਰਜੀਹ ਦਿੱਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਡਰਾਈ ਆਕਸੀਕਰਨ ਸਮਰੱਥਾ: 15nm~300nm(150A ~ 3000A)
2. ਗਿੱਲਾ ਆਕਸੀਕਰਨ
ਇਹ ਵਿਧੀ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਆਕਸੀਜਨ ਦੇ ਮਿਸ਼ਰਣ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ~ 1000 ° C 'ਤੇ ਜਲਣ ਲਈ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਇੱਕ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪਾਣੀ ਦੀ ਭਾਫ਼ ਪੈਦਾ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ ਗਿੱਲੇ ਆਕਸੀਕਰਨ ਸੁੱਕੇ ਆਕਸੀਕਰਨ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਗੁਣਵੱਤਾ ਆਕਸੀਕਰਨ ਪਰਤ ਪੈਦਾ ਨਹੀਂ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਪਰ ਇੱਕ ਅਲੱਗ-ਥਲੱਗ ਜ਼ੋਨ ਦੇ ਤੌਰ ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਲਈ ਕਾਫ਼ੀ ਹੈ, ਖੁਸ਼ਕ ਆਕਸੀਕਰਨ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਪੱਸ਼ਟ ਫਾਇਦਾ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਇਸਦੀ ਉੱਚ ਵਿਕਾਸ ਦਰ ਹੈ।
ਗਿੱਲੀ ਆਕਸੀਕਰਨ ਸਮਰੱਥਾ: 50nm~ 15µm (500A ~ 15µm)
3. ਡਰਾਈ ਵਿਧੀ - ਗਿੱਲਾ ਤਰੀਕਾ - ਸੁੱਕਾ ਤਰੀਕਾ
ਇਸ ਵਿਧੀ ਵਿੱਚ, ਸ਼ੁੱਧ ਸੁੱਕੀ ਆਕਸੀਜਨ ਨੂੰ ਸ਼ੁਰੂਆਤੀ ਪੜਾਅ 'ਤੇ ਆਕਸੀਕਰਨ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਛੱਡਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਨੂੰ ਆਕਸੀਕਰਨ ਦੇ ਮੱਧ ਵਿੱਚ ਜੋੜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਨੂੰ ਸ਼ੁੱਧ ਸੁੱਕੀ ਆਕਸੀਜਨ ਨਾਲ ਆਕਸੀਕਰਨ ਜਾਰੀ ਰੱਖਣ ਲਈ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਸਟੋਰ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਇੱਕ ਸੰਘਣੀ ਆਕਸੀਕਰਨ ਬਣਤਰ ਬਣ ਸਕੇ। ਪਾਣੀ ਦੀ ਭਾਫ਼ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਆਮ ਗਿੱਲੀ ਆਕਸੀਕਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ।
4. TEOS ਆਕਸੀਕਰਨ
ਆਕਸੀਕਰਨ ਤਕਨੀਕ | ਗਿੱਲਾ ਆਕਸੀਕਰਨ ਜਾਂ ਸੁੱਕਾ ਆਕਸੀਕਰਨ |
ਵਿਆਸ | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
ਆਕਸਾਈਡ ਮੋਟਾਈ | 100 Å ~ 15µm |
ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ | +/- 5% |
ਸਤ੍ਹਾ | ਸਿੰਗਲ ਸਾਈਡ ਆਕਸੀਕਰਨ (SSO) / ਡਬਲ ਸਾਈਡ ਆਕਸੀਕਰਨ (DSO) |
ਭੱਠੀ | ਹਰੀਜ਼ੱਟਲ ਟਿਊਬ ਭੱਠੀ |
ਗੈਸ | ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ ਗੈਸ |
ਤਾਪਮਾਨ | 900℃ ~ 1200℃ |
ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ | ੧.੪੫੬ |