ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (Ⅱ) ਦੀ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਤਕਨਾਲੋਜੀ

ਚੌਥਾ, ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਵਿਧੀ

ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਟਰਾਂਸਪੋਰਟ (ਪੀਵੀਟੀ) ਵਿਧੀ 1955 ਵਿੱਚ ਲੇਲੀ ਦੁਆਰਾ ਖੋਜੀ ਗਈ ਭਾਫ਼ ਪੜਾਅ ਸਬਲਿਮੇਸ਼ਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਤੋਂ ਉਤਪੰਨ ਹੋਈ ਹੈ। SiC ਪਾਊਡਰ ਨੂੰ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਟਿਊਬ ਵਿੱਚ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ SiC ਪਾਊਡਰ ਨੂੰ ਸੜਨ ਅਤੇ ਉੱਤਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਗਰਮ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਟਿਊਬ ਨੂੰ ਠੰਢਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।SiC ਪਾਊਡਰ ਦੇ ਸੜਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਭਾਫ਼ ਦੇ ਪੜਾਅ ਦੇ ਹਿੱਸੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਟਿਊਬ ਦੇ ਆਲੇ ਦੁਆਲੇ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਅਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।ਹਾਲਾਂਕਿ ਇਹ ਵਿਧੀ ਵੱਡੇ ਆਕਾਰ ਦੇ SiC ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੈ, ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਟਿਊਬ ਵਿੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੈ, ਇਹ ਬਾਅਦ ਦੇ ਖੋਜਕਰਤਾਵਾਂ ਲਈ ਵਿਚਾਰ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।
Ym Terairov et al.ਰੂਸ ਵਿੱਚ ਇਸ ਅਧਾਰ 'ਤੇ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੀ ਧਾਰਨਾ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੀ, ਅਤੇ ਬੇਕਾਬੂ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸ਼ਕਲ ਅਤੇ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੀ ਨਿਊਕਲੀਏਸ਼ਨ ਸਥਿਤੀ ਦੀ ਸਮੱਸਿਆ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕੀਤਾ।ਬਾਅਦ ਦੇ ਖੋਜਕਰਤਾਵਾਂ ਨੇ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨਾ ਜਾਰੀ ਰੱਖਿਆ ਅਤੇ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਅੱਜ ਉਦਯੋਗਿਕ ਵਰਤੋਂ ਵਿੱਚ ਭੌਤਿਕ ਗੈਸ ਫੇਜ਼ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ (ਪੀਵੀਟੀ) ਵਿਧੀ ਨੂੰ ਵਿਕਸਤ ਕੀਤਾ।

ਸਭ ਤੋਂ ਪੁਰਾਣੀ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਵਿਧੀ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਵਿਧੀ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਮੁੱਖ ਧਾਰਾ ਵਿਕਾਸ ਵਿਧੀ ਹੈ।ਹੋਰ ਤਰੀਕਿਆਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ, ਵਿਧੀ ਵਿੱਚ ਵਿਕਾਸ ਉਪਕਰਣ, ਸਧਾਰਨ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, ਮਜ਼ਬੂਤ ​​​​ਨਿਯੰਤਰਣਯੋਗਤਾ, ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਵਿਕਾਸ ਅਤੇ ਖੋਜ ਲਈ ਘੱਟ ਲੋੜਾਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਉਦਯੋਗਿਕ ਉਪਯੋਗ ਨੂੰ ਮਹਿਸੂਸ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ.ਮੌਜੂਦਾ ਮੁੱਖ ਧਾਰਾ PVT ਵਿਧੀ ਦੁਆਰਾ ਉਗਾਈ ਗਈ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੀ ਬਣਤਰ ਚਿੱਤਰ ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਈ ਗਈ ਹੈ।

10

ਧੁਰੀ ਅਤੇ ਰੇਡੀਅਲ ਤਾਪਮਾਨ ਖੇਤਰਾਂ ਨੂੰ ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੀ ਬਾਹਰੀ ਥਰਮਲ ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ ਸਥਿਤੀਆਂ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਕੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।SiC ਪਾਊਡਰ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਨਾਲ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੇ ਤਲ 'ਤੇ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ SiC ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਨਾਲ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੇ ਸਿਖਰ 'ਤੇ ਸਥਿਰ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਪਾਊਡਰ ਅਤੇ ਬੀਜ ਵਿਚਕਾਰ ਦੂਰੀ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਧ ਰਹੇ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਅਤੇ ਪਾਊਡਰ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਸੰਪਰਕ ਤੋਂ ਬਚਣ ਲਈ ਦਸਾਂ ਮਿਲੀਮੀਟਰਾਂ ਤੱਕ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਤਾਪਮਾਨ ਗਰੇਡੀਐਂਟ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 15-35℃/cm ਦੀ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।ਕਨਵਕਸ਼ਨ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ 50-5000 Pa ਦੀ ਇੱਕ ਇਨਰਟ ਗੈਸ ਰੱਖੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ, ਐਸਆਈਸੀ ਪਾਊਡਰ ਨੂੰ ਇੰਡਕਸ਼ਨ ਹੀਟਿੰਗ ਦੁਆਰਾ 2000-2500℃ ਤੱਕ ਗਰਮ ਕੀਤੇ ਜਾਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, SiC ਪਾਊਡਰ ਉੱਤਮ ਹੋ ਜਾਵੇਗਾ ਅਤੇ Si, Si2C, SiC2 ਅਤੇ ਹੋਰ ਭਾਫ਼ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਵਿੱਚ ਕੰਪੋਜ਼ ਹੋ ਜਾਵੇਗਾ, ਅਤੇ ਗੈਸ ਕਨਵੈਕਸ਼ਨ ਨਾਲ ਬੀਜ ਦੇ ਸਿਰੇ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਾਇਆ ਜਾਵੇਗਾ, ਅਤੇ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ 'ਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਇਸਦੀ ਆਮ ਵਿਕਾਸ ਦਰ 0.1-2mm/h ਹੈ।

ਪੀਵੀਟੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ, ਤਾਪਮਾਨ ਗਰੇਡੀਐਂਟ, ਵਿਕਾਸ ਸਤਹ, ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਸਤਹ ਦੀ ਵਿੱਥ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਦਬਾਅ ਦੇ ਨਿਯੰਤਰਣ 'ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਇਸਦਾ ਫਾਇਦਾ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਇਸਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਪਰਿਪੱਕ ਹੈ, ਕੱਚਾ ਮਾਲ ਪੈਦਾ ਕਰਨਾ ਆਸਾਨ ਹੈ, ਲਾਗਤ ਘੱਟ ਹੈ, ਪਰ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ PVT ਵਿਧੀ ਨੂੰ ਦੇਖਣਾ ਔਖਾ ਹੈ, 0.2-0.4mm/h ਦੀ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਦਰ, ਵੱਡੀ ਮੋਟਾਈ (>50mm) ਵਾਲੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਧਣਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੈ।ਦਹਾਕਿਆਂ ਦੇ ਲਗਾਤਾਰ ਯਤਨਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, PVT ਵਿਧੀ ਦੁਆਰਾ ਉਗਾਈ ਗਈ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰਾਂ ਦਾ ਮੌਜੂਦਾ ਬਾਜ਼ਾਰ ਬਹੁਤ ਵੱਡਾ ਹੈ, ਅਤੇ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਸਾਲਾਨਾ ਆਉਟਪੁੱਟ ਸੈਂਕੜੇ ਹਜ਼ਾਰਾਂ ਵੇਫਰਾਂ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦਾ ਆਕਾਰ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ 4 ਇੰਚ ਤੋਂ 6 ਇੰਚ ਤੱਕ ਬਦਲ ਰਿਹਾ ਹੈ। , ਅਤੇ 8 ਇੰਚ ਦੇ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਨਮੂਨੇ ਵਿਕਸਿਤ ਕੀਤੇ ਹਨ।

 

ਪੰਜਵਾਂ,ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਵਿਧੀ

 

ਹਾਈ ਟੈਂਪਰੇਚਰ ਕੈਮੀਕਲ ਵੈਪਰ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ (HTCVD) ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (CVD) 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ ਇੱਕ ਸੁਧਾਰੀ ਵਿਧੀ ਹੈ।ਇਹ ਵਿਧੀ ਪਹਿਲੀ ਵਾਰ 1995 ਵਿੱਚ ਕੋਰਡੀਨਾ ਐਟ ਅਲ., ਲਿੰਕੋਪਿੰਗ ਯੂਨੀਵਰਸਿਟੀ, ਸਵੀਡਨ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਸਤਾਵਿਤ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸੀ।
ਵਿਕਾਸ ਢਾਂਚੇ ਦਾ ਚਿੱਤਰ ਚਿੱਤਰ ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ:

11

ਧੁਰੀ ਅਤੇ ਰੇਡੀਅਲ ਤਾਪਮਾਨ ਖੇਤਰਾਂ ਨੂੰ ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੀ ਬਾਹਰੀ ਥਰਮਲ ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ ਸਥਿਤੀਆਂ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਕੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।SiC ਪਾਊਡਰ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਨਾਲ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੇ ਤਲ 'ਤੇ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ SiC ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਨਾਲ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੇ ਸਿਖਰ 'ਤੇ ਸਥਿਰ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਪਾਊਡਰ ਅਤੇ ਬੀਜ ਵਿਚਕਾਰ ਦੂਰੀ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਧ ਰਹੇ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਅਤੇ ਪਾਊਡਰ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਸੰਪਰਕ ਤੋਂ ਬਚਣ ਲਈ ਦਸਾਂ ਮਿਲੀਮੀਟਰਾਂ ਤੱਕ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਤਾਪਮਾਨ ਗਰੇਡੀਐਂਟ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 15-35℃/cm ਦੀ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।ਕਨਵਕਸ਼ਨ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ 50-5000 Pa ਦੀ ਇੱਕ ਇਨਰਟ ਗੈਸ ਰੱਖੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ, ਐਸਆਈਸੀ ਪਾਊਡਰ ਨੂੰ ਇੰਡਕਸ਼ਨ ਹੀਟਿੰਗ ਦੁਆਰਾ 2000-2500℃ ਤੱਕ ਗਰਮ ਕੀਤੇ ਜਾਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, SiC ਪਾਊਡਰ ਉੱਤਮ ਹੋ ਜਾਵੇਗਾ ਅਤੇ Si, Si2C, SiC2 ਅਤੇ ਹੋਰ ਭਾਫ਼ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਵਿੱਚ ਕੰਪੋਜ਼ ਹੋ ਜਾਵੇਗਾ, ਅਤੇ ਗੈਸ ਕਨਵੈਕਸ਼ਨ ਨਾਲ ਬੀਜ ਦੇ ਸਿਰੇ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਾਇਆ ਜਾਵੇਗਾ, ਅਤੇ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ 'ਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਇਸਦੀ ਆਮ ਵਿਕਾਸ ਦਰ 0.1-2mm/h ਹੈ।

ਪੀਵੀਟੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ, ਤਾਪਮਾਨ ਗਰੇਡੀਐਂਟ, ਵਿਕਾਸ ਸਤਹ, ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਸਤਹ ਦੀ ਵਿੱਥ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਦਬਾਅ ਦੇ ਨਿਯੰਤਰਣ 'ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਇਸਦਾ ਫਾਇਦਾ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਇਸਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਪਰਿਪੱਕ ਹੈ, ਕੱਚਾ ਮਾਲ ਪੈਦਾ ਕਰਨਾ ਆਸਾਨ ਹੈ, ਲਾਗਤ ਘੱਟ ਹੈ, ਪਰ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ PVT ਵਿਧੀ ਨੂੰ ਦੇਖਣਾ ਔਖਾ ਹੈ, 0.2-0.4mm/h ਦੀ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਦਰ, ਵੱਡੀ ਮੋਟਾਈ (>50mm) ਵਾਲੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਧਣਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੈ।ਦਹਾਕਿਆਂ ਦੇ ਲਗਾਤਾਰ ਯਤਨਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, PVT ਵਿਧੀ ਦੁਆਰਾ ਉਗਾਈ ਗਈ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰਾਂ ਦਾ ਮੌਜੂਦਾ ਬਾਜ਼ਾਰ ਬਹੁਤ ਵੱਡਾ ਹੈ, ਅਤੇ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਸਾਲਾਨਾ ਆਉਟਪੁੱਟ ਸੈਂਕੜੇ ਹਜ਼ਾਰਾਂ ਵੇਫਰਾਂ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦਾ ਆਕਾਰ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ 4 ਇੰਚ ਤੋਂ 6 ਇੰਚ ਤੱਕ ਬਦਲ ਰਿਹਾ ਹੈ। , ਅਤੇ 8 ਇੰਚ ਦੇ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਨਮੂਨੇ ਵਿਕਸਿਤ ਕੀਤੇ ਹਨ।

 

ਪੰਜਵਾਂ,ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਵਿਧੀ

 

ਹਾਈ ਟੈਂਪਰੇਚਰ ਕੈਮੀਕਲ ਵੈਪਰ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ (HTCVD) ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (CVD) 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ ਇੱਕ ਸੁਧਾਰੀ ਵਿਧੀ ਹੈ।ਇਹ ਵਿਧੀ ਪਹਿਲੀ ਵਾਰ 1995 ਵਿੱਚ ਕੋਰਡੀਨਾ ਐਟ ਅਲ., ਲਿੰਕੋਪਿੰਗ ਯੂਨੀਵਰਸਿਟੀ, ਸਵੀਡਨ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਸਤਾਵਿਤ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸੀ।
ਵਿਕਾਸ ਢਾਂਚੇ ਦਾ ਚਿੱਤਰ ਚਿੱਤਰ ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ:

12

ਜਦੋਂ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਤਰਲ ਪੜਾਅ ਵਿਧੀ ਦੁਆਰਾ ਉਗਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਸਹਾਇਕ ਘੋਲ ਦੇ ਅੰਦਰ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਕਨਵੈਕਸ਼ਨ ਵੰਡ ਨੂੰ ਚਿੱਤਰ ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ:

13

ਇਹ ਦੇਖਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿ ਸਹਾਇਕ ਘੋਲ ਵਿੱਚ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੀਵਾਰ ਦੇ ਨੇੜੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵੱਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਸੀਡ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਘੱਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਦੌਰਾਨ, ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਲਈ C ਸਰੋਤ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।ਕਿਉਂਕਿ ਕ੍ਰੂਸੀਬਲ ਦੀਵਾਰ 'ਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਉੱਚਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, C ਦੀ ਘੁਲਣਸ਼ੀਲਤਾ ਵੱਡੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਘੁਲਣ ਦੀ ਦਰ ਤੇਜ਼ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, C ਦਾ ਇੱਕ ਸੰਤ੍ਰਿਪਤ ਘੋਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ C ਦੀ ਇੱਕ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ C ਦਾ ਇੱਕ ਸੰਤ੍ਰਿਪਤ ਘੋਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ crucible ਕੰਧ 'ਤੇ ਭੰਗ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇਗਾ। ਘੁਲਣ ਵਾਲੇ C ਨੂੰ ਸਹਾਇਕ ਘੋਲ ਦੇ ਅੰਦਰ ਸੰਚਾਲਨ ਦੁਆਰਾ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੇ ਹੇਠਲੇ ਹਿੱਸੇ ਵਿੱਚ ਲਿਜਾਇਆ ਜਾਵੇਗਾ।ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਿਰੇ ਦੇ ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਸੰਬੰਧਿਤ C ਦੀ ਘੁਲਣਸ਼ੀਲਤਾ ਅਨੁਸਾਰੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਅਸਲੀ C-ਸੰਤ੍ਰਿਪਤ ਘੋਲ ਇਸ ਸਥਿਤੀ ਦੇ ਅਧੀਨ ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਸਿਰੇ 'ਤੇ ਤਬਦੀਲ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ C ਦਾ ਸੁਪਰਸੈਚੁਰੇਟਿਡ ਘੋਲ ਬਣ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਸਹਾਇਕ ਘੋਲ ਵਿੱਚ Si ਦੇ ਨਾਲ ਮਿਲਾਏ ਗਏ ਘੋਲ ਵਿੱਚ Suprataturated C ਸੀਡ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਉੱਤੇ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵਧ ਸਕਦਾ ਹੈ।ਜਦੋਂ C ਦਾ ਸੁਪਰਫੋਰੇਟਿਡ ਹਿੱਸਾ ਬਾਹਰ ਨਿਕਲਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਘੋਲ ਕਨਵੈਕਸ਼ਨ ਦੇ ਨਾਲ ਕਰੂਸੀਬਲ ਕੰਧ ਦੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਸਿਰੇ 'ਤੇ ਵਾਪਸ ਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇੱਕ ਸੰਤ੍ਰਿਪਤ ਘੋਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ C ਨੂੰ ਦੁਬਾਰਾ ਘੁਲ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਪੂਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਹਰਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਧਦਾ ਹੈ.ਤਰਲ ਪੜਾਅ ਦੇ ਵਾਧੇ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਘੋਲ ਵਿੱਚ C ਦਾ ਘੁਲਣਾ ਅਤੇ ਵਰਖਾ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਗਤੀ ਦਾ ਇੱਕ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੂਚਕਾਂਕ ਹੈ।ਸਥਿਰ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ, ਕਰੂਸੀਬਲ ਕੰਧ 'ਤੇ C ਦੇ ਭੰਗ ਅਤੇ ਬੀਜ ਦੇ ਸਿਰੇ 'ਤੇ ਵਰਖਾ ਵਿਚਕਾਰ ਸੰਤੁਲਨ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।ਜੇਕਰ C ਦਾ ਘੁਲਣ C ਦੀ ਵਰਖਾ ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੈ, ਤਾਂ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿੱਚ C ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਭਰਪੂਰ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ SiC ਦਾ ਸਵੈ-ਚਾਲਤ ਨਿਊਕਲੀਏਸ਼ਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।ਜੇਕਰ C ਦਾ ਘੁਲਣ C ਦੇ ਵਰਖਾ ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੈ, ਤਾਂ ਘੋਲ ਦੀ ਘਾਟ ਕਾਰਨ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦਾ ਵਾਧਾ ਕਰਨਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੋਵੇਗਾ।
ਇਸ ਦੇ ਨਾਲ ਹੀ, ਸੰਚਾਲਨ ਦੁਆਰਾ C ਦੀ ਆਵਾਜਾਈ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਦੌਰਾਨ C ਦੀ ਸਪਲਾਈ ਨੂੰ ਵੀ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ।ਚੰਗੀ ਕਾਫ਼ੀ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਕਾਫ਼ੀ ਮੋਟਾਈ ਦੇ ਨਾਲ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਧਣ ਲਈ, ਉਪਰੋਕਤ ਤਿੰਨ ਤੱਤਾਂ ਦੇ ਸੰਤੁਲਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ, ਜੋ SiC ਤਰਲ ਪੜਾਅ ਦੇ ਵਾਧੇ ਦੀ ਮੁਸ਼ਕਲ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ।ਹਾਲਾਂਕਿ, ਸੰਬੰਧਿਤ ਸਿਧਾਂਤਾਂ ਅਤੇ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦੇ ਹੌਲੀ ਹੌਲੀ ਸੁਧਾਰ ਅਤੇ ਸੁਧਾਰ ਦੇ ਨਾਲ, SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੇ ਤਰਲ ਪੜਾਅ ਦੇ ਵਾਧੇ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਦਿਖਾਈ ਦੇਣਗੇ।
ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਜਾਪਾਨ ਵਿੱਚ 2-ਇੰਚ ਦੇ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੇ ਤਰਲ ਪੜਾਅ ਦੇ ਵਾਧੇ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ 4-ਇੰਚ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੇ ਤਰਲ ਪੜਾਅ ਵਿੱਚ ਵਾਧਾ ਵੀ ਵਿਕਸਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਰਿਹਾ ਹੈ।ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਸੰਬੰਧਿਤ ਘਰੇਲੂ ਖੋਜ ਦੇ ਚੰਗੇ ਨਤੀਜੇ ਨਹੀਂ ਦੇਖੇ ਗਏ ਹਨ, ਅਤੇ ਸੰਬੰਧਿਤ ਖੋਜ ਕਾਰਜਾਂ ਦੀ ਪਾਲਣਾ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ.

 

ਸੱਤਵਾਂ, SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੇ ਭੌਤਿਕ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਗੁਣ

 

(1) ਮਕੈਨੀਕਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ: SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਕਠੋਰਤਾ ਅਤੇ ਵਧੀਆ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।ਇਸਦੀ ਮੋਹਸ ਕਠੋਰਤਾ 9.2 ਅਤੇ 9.3 ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਕ੍ਰਿਟ ਕਠੋਰਤਾ 2900 ਅਤੇ 3100Kg/mm2 ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਖੋਜੀਆਂ ਗਈਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਵਿੱਚ ਹੀਰੇ ਦੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਦੂਜੇ ਨੰਬਰ 'ਤੇ ਹੈ।SiC ਦੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਮਕੈਨੀਕਲ ਗੁਣਾਂ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਪਾਊਡਰ SiC ਅਕਸਰ ਕੱਟਣ ਜਾਂ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੀ ਸਾਲਾਨਾ ਮੰਗ ਲੱਖਾਂ ਟਨ ਤੱਕ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।ਕੁਝ ਵਰਕਪੀਸ 'ਤੇ ਪਹਿਨਣ-ਰੋਧਕ ਕੋਟਿੰਗ ਵੀ SiC ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੇਗੀ, ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਕੁਝ ਜੰਗੀ ਜਹਾਜ਼ਾਂ 'ਤੇ ਪਹਿਨਣ-ਰੋਧਕ ਕੋਟਿੰਗ SiC ਕੋਟਿੰਗ ਨਾਲ ਬਣੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

(2) ਥਰਮਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ: SiC ਦੀ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ 3-5 W/cm·K ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਰਵਾਇਤੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ Si ਨਾਲੋਂ 3 ਗੁਣਾ ਅਤੇ GaAs ਨਾਲੋਂ 8 ਗੁਣਾ ਹੈ।SiC ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਯੰਤਰ ਦੇ ਤਾਪ ਉਤਪਾਦਨ ਨੂੰ ਜਲਦੀ ਦੂਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਇਸਲਈ SiC ਯੰਤਰ ਦੀਆਂ ਤਾਪ ਖਰਾਬ ਹੋਣ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਢਿੱਲੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਇਹ ਉੱਚ-ਸ਼ਕਤੀ ਵਾਲੇ ਯੰਤਰਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਲਈ ਵਧੇਰੇ ਢੁਕਵਾਂ ਹੈ।SiC ਕੋਲ ਸਥਿਰ ਥਰਮੋਡਾਇਨਾਮਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ।ਸਧਾਰਣ ਦਬਾਅ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ, SiC ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ Si ਅਤੇ C ਵਾਲੇ ਭਾਫ਼ ਵਿੱਚ ਕੰਪੋਜ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇਗਾ.

(3) ਰਸਾਇਣਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ: SiC ਵਿੱਚ ਸਥਿਰ ਰਸਾਇਣਕ ਗੁਣ ਹਨ, ਚੰਗੀ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਕਿਸੇ ਵੀ ਜਾਣੇ-ਪਛਾਣੇ ਐਸਿਡ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਨਹੀਂ ਕਰਦੀ ਹੈ।ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਹਵਾ ਵਿੱਚ ਰੱਖਿਆ ਗਿਆ SiC ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਸੰਘਣੀ SiO2 ਦੀ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਪਰਤ ਬਣਾਏਗਾ, ਹੋਰ ਆਕਸੀਕਰਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਨੂੰ ਰੋਕਦਾ ਹੈ।ਜਦੋਂ ਤਾਪਮਾਨ 1700 ℃ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ SiO2 ਪਤਲੀ ਪਰਤ ਪਿਘਲ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।SiC ਪਿਘਲੇ ਹੋਏ ਆਕਸੀਡੈਂਟਾਂ ਜਾਂ ਬੇਸਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਇੱਕ ਹੌਲੀ ਆਕਸੀਕਰਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ SiC ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਵਿੱਚ ਵਿਸਥਾਪਨ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਣ ਲਈ SiC ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪਿਘਲੇ ਹੋਏ KOH ਅਤੇ Na2O2 ਵਿੱਚ ਖਰਾਬ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।.

(4) ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ: SiC ਵਿਆਪਕ ਬੈਂਡਗੈਪ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਦੀ ਪ੍ਰਤੀਨਿਧ ਸਮੱਗਰੀ ਵਜੋਂ, 6H-SiC ਅਤੇ 4H-SiC ਬੈਂਡਗੈਪ ਚੌੜਾਈ ਕ੍ਰਮਵਾਰ 3.0 eV ਅਤੇ 3.2 eV ਹੈ, ਜੋ ਕਿ Si ਦਾ 3 ਗੁਣਾ ਅਤੇ GaAs ਨਾਲੋਂ 2 ਗੁਣਾ ਹੈ।SiC ਦੇ ਬਣੇ ਸੈਮੀ-ਕੰਡਕਟਰ ਯੰਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਛੋਟੇ ਲੀਕੇਜ ਕਰੰਟ ਅਤੇ ਵੱਡੇ ਬਰੇਕਡਾਊਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਇਸਲਈ SiC ਨੂੰ ਉੱਚ-ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਆਦਰਸ਼ ਸਮੱਗਰੀ ਮੰਨਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।SiC ਦੀ ਸੰਤ੍ਰਿਪਤ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਵੀ Si ਨਾਲੋਂ 2 ਗੁਣਾ ਵੱਧ ਹੈ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ ਵਾਲੇ ਯੰਤਰਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਵਿੱਚ ਇਸ ਦੇ ਸਪੱਸ਼ਟ ਫਾਇਦੇ ਵੀ ਹਨ।ਪੀ-ਟਾਈਪ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਜਾਂ N-ਟਾਈਪ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿੱਚ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਡੋਪ ਕਰਕੇ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੇ ਜਾ ਸਕਦੇ ਹਨ।ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, P- ਕਿਸਮ ਦੇ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ Al, B, Be, O, Ga, Sc ਅਤੇ ਹੋਰ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੁਆਰਾ ਡੋਪ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ N- ਕਿਸਮ ਦੇ sic ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ N ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੁਆਰਾ ਡੋਪ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।ਡੋਪਿੰਗ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਅਤੇ ਕਿਸਮ ਦੇ ਅੰਤਰ ਦਾ SiC ਦੇ ਭੌਤਿਕ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਗੁਣਾਂ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪਵੇਗਾ।ਉਸੇ ਸਮੇਂ, ਮੁਫਤ ਕੈਰੀਅਰ ਨੂੰ ਡੂੰਘੇ ਪੱਧਰ ਦੇ ਡੋਪਿੰਗ ਜਿਵੇਂ ਕਿ V ਦੁਆਰਾ ਨੱਕ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਅਰਧ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ.

(5) ਆਪਟੀਕਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ: ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਚੌੜਾ ਬੈਂਡ ਗੈਪ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਅਣਡੌਪਡ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਰੰਗਹੀਣ ਅਤੇ ਪਾਰਦਰਸ਼ੀ ਹੈ।ਡੋਪਡ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਉਹਨਾਂ ਦੀਆਂ ਵੱਖੋ-ਵੱਖਰੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਕਾਰਨ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਰੰਗ ਦਿਖਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, 6H-SiC ਡੋਪਿੰਗ N ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਹਰਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ;4H-SiC ਭੂਰਾ ਹੈ।15R-SiC ਪੀਲਾ ਹੈ।Al ਨਾਲ ਡੋਪ ਕੀਤਾ ਗਿਆ, 4H-SiC ਨੀਲਾ ਦਿਖਾਈ ਦਿੰਦਾ ਹੈ।ਇਹ ਰੰਗ ਦੇ ਅੰਤਰ ਨੂੰ ਦੇਖ ਕੇ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕਿਸਮ ਨੂੰ ਵੱਖ ਕਰਨ ਦਾ ਇੱਕ ਅਨੁਭਵੀ ਤਰੀਕਾ ਹੈ।ਪਿਛਲੇ 20 ਸਾਲਾਂ ਵਿੱਚ SiC ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਖੇਤਰਾਂ 'ਤੇ ਲਗਾਤਾਰ ਖੋਜ ਦੇ ਨਾਲ, ਸੰਬੰਧਿਤ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਵਿੱਚ ਵੱਡੀਆਂ ਪ੍ਰਾਪਤੀਆਂ ਹੋਈਆਂ ਹਨ।

 

ਅੱਠਵਾਂ,SiC ਵਿਕਾਸ ਸਥਿਤੀ ਦੀ ਜਾਣ-ਪਛਾਣ

ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, SiC ਉਦਯੋਗ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਸੰਪੂਰਨ ਹੋ ਗਿਆ ਹੈ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰ, ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵੇਫਰਾਂ ਤੋਂ ਲੈ ਕੇ ਡਿਵਾਈਸ ਉਤਪਾਦਨ, ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਤੱਕ, ਸਮੁੱਚੀ ਉਦਯੋਗਿਕ ਲੜੀ ਪਰਿਪੱਕ ਹੋ ਗਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਹ ਮਾਰਕੀਟ ਵਿੱਚ SiC ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਉਤਪਾਦਾਂ ਦੀ ਸਪਲਾਈ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਕ੍ਰੀ SiC ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਨੇਤਾ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਆਕਾਰ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੋਵਾਂ ਵਿੱਚ ਮੋਹਰੀ ਸਥਿਤੀ ਹੈ।ਕ੍ਰੀ ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀ ਸਾਲ 300,000 SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਚਿਪਸ ਪੈਦਾ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਗਲੋਬਲ ਸ਼ਿਪਮੈਂਟਾਂ ਦੇ 80% ਤੋਂ ਵੱਧ ਲਈ ਲੇਖਾ ਜੋਖਾ ਕਰਦੀ ਹੈ।

ਸਤੰਬਰ 2019 ਵਿੱਚ, ਕ੍ਰੀ ਨੇ ਘੋਸ਼ਣਾ ਕੀਤੀ ਕਿ ਇਹ ਨਿਊਯਾਰਕ ਰਾਜ, ਯੂਐਸਏ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਨਵੀਂ ਸਹੂਲਤ ਦਾ ਨਿਰਮਾਣ ਕਰੇਗੀ, ਜੋ 200 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਵਿਆਸ ਦੀ ਪਾਵਰ ਅਤੇ ਆਰਐਫ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਉਗਾਉਣ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਉੱਨਤ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੇਗੀ, ਇਹ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਇਸਦੀ 200 ਮਿਲੀਮੀਟਰ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਮੱਗਰੀ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਦੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਹੈ। ਹੋਰ ਸਿਆਣੇ ਬਣ.

ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਮਾਰਕੀਟ ਵਿੱਚ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਚਿਪਸ ਦੇ ਮੁੱਖ ਧਾਰਾ ਉਤਪਾਦ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ 4H-SiC ਅਤੇ 6H-SiC ਸੰਚਾਲਕ ਅਤੇ 2-6 ਇੰਚ ਦੇ ਅਰਧ-ਇੰਸੂਲੇਟਡ ਕਿਸਮਾਂ ਹਨ।
ਅਕਤੂਬਰ 2015 ਵਿੱਚ, ਕ੍ਰੀ ਐਨ-ਟਾਈਪ ਅਤੇ LED ਲਈ 200 mm SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਲਾਂਚ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਪਹਿਲੀ ਸੀ, ਜੋ ਕਿ ਮਾਰਕੀਟ ਵਿੱਚ 8-ਇੰਚ SiC ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁਰੂਆਤ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਸੀ।
2016 ਵਿੱਚ, Romm ਨੇ Venturi ਟੀਮ ਨੂੰ ਸਪਾਂਸਰ ਕਰਨਾ ਸ਼ੁਰੂ ਕੀਤਾ ਅਤੇ ਰਵਾਇਤੀ 200 kW ਇਨਵਰਟਰ ਵਿੱਚ IGBT + Si FRD ਹੱਲ ਨੂੰ ਬਦਲਣ ਲਈ ਕਾਰ ਵਿੱਚ IGBT + SiC SBD ਸੁਮੇਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਵਾਲਾ ਪਹਿਲਾ ਵਿਅਕਤੀ ਸੀ।ਸੁਧਾਰ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਇਨਵਰਟਰ ਦਾ ਭਾਰ 2 ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ ਘਟਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ ਅਤੇ ਉਸੇ ਸ਼ਕਤੀ ਨੂੰ ਕਾਇਮ ਰੱਖਦੇ ਹੋਏ ਆਕਾਰ ਨੂੰ 19% ਘਟਾ ਦਿੱਤਾ ਗਿਆ ਹੈ।

2017 ਵਿੱਚ, SiC MOS + SiC SBD ਨੂੰ ਹੋਰ ਅਪਣਾਏ ਜਾਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਨਾ ਸਿਰਫ ਭਾਰ 6 ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ ਤੱਕ ਘਟਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਆਕਾਰ ਵਿੱਚ 43% ਦੀ ਕਮੀ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਨਵਰਟਰ ਪਾਵਰ ਵੀ 200 kW ਤੋਂ 220 kW ਤੱਕ ਵਧਾ ਦਿੱਤੀ ਗਈ ਹੈ।
2018 ਵਿੱਚ ਟੇਸਲਾ ਦੁਆਰਾ ਆਪਣੇ ਮਾਡਲ 3 ਉਤਪਾਦਾਂ ਦੇ ਮੁੱਖ ਡਰਾਈਵ ਇਨਵਰਟਰਾਂ ਵਿੱਚ SIC-ਅਧਾਰਿਤ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਨੂੰ ਅਪਣਾਉਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਵਧਾਇਆ ਗਿਆ, ਜਿਸ ਨਾਲ xEV ਆਟੋਮੋਟਿਵ ਮਾਰਕੀਟ ਜਲਦੀ ਹੀ SiC ਮਾਰਕੀਟ ਲਈ ਉਤਸ਼ਾਹ ਦਾ ਇੱਕ ਸਰੋਤ ਬਣ ਗਿਆ।SiC ਦੇ ਸਫਲ ਉਪਯੋਗ ਦੇ ਨਾਲ, ਇਸਦੇ ਸੰਬੰਧਿਤ ਮਾਰਕੀਟ ਆਉਟਪੁੱਟ ਮੁੱਲ ਵਿੱਚ ਵੀ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਵਾਧਾ ਹੋਇਆ ਹੈ।

15

ਨੌਵਾਂ,ਸਿੱਟਾ:

SiC ਸਬੰਧਤ ਉਦਯੋਗ ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੇ ਨਿਰੰਤਰ ਸੁਧਾਰ ਦੇ ਨਾਲ, ਇਸਦੀ ਉਪਜ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਵਿੱਚ ਹੋਰ ਸੁਧਾਰ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇਗਾ, SiC ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਦੀ ਕੀਮਤ ਵੀ ਘਟੇਗੀ, ਅਤੇ SiC ਦੀ ਮਾਰਕੀਟ ਪ੍ਰਤੀਯੋਗਤਾ ਹੋਰ ਸਪੱਸ਼ਟ ਹੋਵੇਗੀ।ਭਵਿੱਖ ਵਿੱਚ, SiC ਉਪਕਰਨਾਂ ਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਖੇਤਰਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਆਟੋਮੋਬਾਈਲਜ਼, ਸੰਚਾਰ, ਪਾਵਰ ਗਰਿੱਡ ਅਤੇ ਆਵਾਜਾਈ ਵਿੱਚ ਵਧੇਰੇ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਵੇਗਾ, ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਮਾਰਕੀਟ ਵਿਆਪਕ ਹੋਵੇਗੀ, ਅਤੇ ਮਾਰਕੀਟ ਦਾ ਆਕਾਰ ਹੋਰ ਵਧਾਇਆ ਜਾਵੇਗਾ, ਜੋ ਰਾਸ਼ਟਰੀ ਲਈ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸਮਰਥਨ ਬਣ ਜਾਵੇਗਾ। ਆਰਥਿਕਤਾ.

 

 

 


ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਜਨਵਰੀ-25-2024