ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ - ਈਚ ਟੈਕਨਾਲੋਜੀ

ਏ ਨੂੰ ਚਾਲੂ ਕਰਨ ਲਈ ਸੈਂਕੜੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈਵੇਫਰਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵਿੱਚ. ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹੈਐਚਿੰਗ- ਯਾਨੀ, 'ਤੇ ਵਧੀਆ ਸਰਕਟ ਪੈਟਰਨ ਉੱਕਰੀਵੇਫਰ. ਦੀ ਸਫਲਤਾਐਚਿੰਗਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੱਕ ਸੈੱਟ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਸੀਮਾ ਦੇ ਅੰਦਰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਵੇਰੀਏਬਲਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਬੰਧਨ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਹਰੇਕ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਹਾਲਤਾਂ ਵਿੱਚ ਕੰਮ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਹੋਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਸਾਡੇ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਇਸ ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਨਿਰਮਾਣ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ।
SK Hynix ਨਿਊਜ਼ ਸੈਂਟਰ ਨੇ Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch, ਅਤੇ End Etch ਤਕਨੀਕੀ ਟੀਮਾਂ ਦੇ ਮੈਂਬਰਾਂ ਦੀ ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਕੰਮ ਬਾਰੇ ਹੋਰ ਜਾਣਨ ਲਈ ਇੰਟਰਵਿਊ ਕੀਤੀ।
ਐਚ: ਉਤਪਾਦਕਤਾ ਸੁਧਾਰ ਲਈ ਇੱਕ ਯਾਤਰਾ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ, ਐਚਿੰਗ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ 'ਤੇ ਨੱਕਾਸ਼ੀ ਦੇ ਨਮੂਨੇ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਹਰੇਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਪੜਾਅ ਦੀ ਅੰਤਿਮ ਰੂਪਰੇਖਾ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪੈਟਰਨਾਂ ਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਛਿੜਕਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਮੁੱਖ ਉਦੇਸ਼ ਲੇਆਉਟ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਸਟੀਕ ਪੈਟਰਨ ਨੂੰ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪੇਸ਼ ਕਰਨਾ ਅਤੇ ਸਾਰੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕਸਾਰ ਨਤੀਜਿਆਂ ਨੂੰ ਕਾਇਮ ਰੱਖਣਾ ਹੈ।
ਜੇਕਰ ਡਿਪਾਜ਼ਿਸ਼ਨ ਜਾਂ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਆਉਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਤਾਂ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਚੋਣਵੇਂ ਐਚਿੰਗ (ਈਚ) ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੁਆਰਾ ਹੱਲ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਜੇ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਕੁਝ ਗਲਤ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਉਲਟਾਇਆ ਨਹੀਂ ਜਾ ਸਕਦਾ। ਇਹ ਇਸ ਲਈ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਉੱਕਰੀ ਹੋਈ ਜਗ੍ਹਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕੋ ਸਮੱਗਰੀ ਨਹੀਂ ਭਰੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਸਮੁੱਚੀ ਉਪਜ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨ ਲਈ ਐਚਿੰਗ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।

ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਅੱਠ ਪੜਾਅ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN ਅਤੇ MLM।
ਸਭ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ, ਸਰਗਰਮ ਸੈੱਲ ਖੇਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ISO (ਅਲੱਗ-ਥਲੱਗ) ਪੜਾਅ etches (Etch) ਸਿਲੀਕਾਨ (Si) ਕਰਦਾ ਹੈ। BG (ਦਫ਼ਨਾਇਆ ਗੇਟ) ਪੜਾਅ ਰੋਅ ਐਡਰੈੱਸ ਲਾਈਨ (ਸ਼ਬਦ ਲਾਈਨ) 1 ਅਤੇ ਇੱਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਚੈਨਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਗੇਟ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਅੱਗੇ, BLC (ਬਿਟ ਲਾਈਨ ਸੰਪਰਕ) ਪੜਾਅ ਸੈੱਲ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ISO ਅਤੇ ਕਾਲਮ ਐਡਰੈੱਸ ਲਾਈਨ (ਬਿਟ ਲਾਈਨ) 2 ਵਿਚਕਾਰ ਕਨੈਕਸ਼ਨ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। GBL (ਪੇਰੀ ਗੇਟ+ਸੈਲ ਬਿਟ ਲਾਈਨ) ਪੜਾਅ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਸੈੱਲ ਕਾਲਮ ਐਡਰੈੱਸ ਲਾਈਨ ਅਤੇ ਪੈਰੀਫੇਰੀ 3 ਵਿੱਚ ਗੇਟ ਬਣਾਏਗਾ।
SNC (ਸਟੋਰੇਜ ਨੋਡ ਕੰਟਰੈਕਟ) ਪੜਾਅ ਸਰਗਰਮ ਖੇਤਰ ਅਤੇ ਸਟੋਰੇਜ ਨੋਡ 4 ਵਿਚਕਾਰ ਕਨੈਕਸ਼ਨ ਬਣਾਉਣਾ ਜਾਰੀ ਰੱਖਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, M0 (Metal0) ਪੜਾਅ ਪੈਰੀਫਿਰਲ S/D (ਸਟੋਰੇਜ ਨੋਡ) 5 ਅਤੇ ਕਨੈਕਸ਼ਨ ਪੁਆਇੰਟਾਂ ਦੇ ਕੁਨੈਕਸ਼ਨ ਪੁਆਇੰਟ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਕਾਲਮ ਐਡਰੈੱਸ ਲਾਈਨ ਅਤੇ ਸਟੋਰੇਜ ਨੋਡ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ। SN (ਸਟੋਰੇਜ ਨੋਡ) ਪੜਾਅ ਯੂਨਿਟ ਦੀ ਸਮਰੱਥਾ ਦੀ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਬਾਅਦ ਵਿੱਚ MLM (ਮਲਟੀ ਲੇਅਰ ਮੈਟਲ) ਪੜਾਅ ਬਾਹਰੀ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਅਤੇ ਅੰਦਰੂਨੀ ਵਾਇਰਿੰਗ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਪੂਰੀ ਐਚਿੰਗ (Etch) ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪੂਰੀ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

ਇਹ ਦੇਖਦੇ ਹੋਏ ਕਿ ਐਚਿੰਗ (ਈਚ) ਟੈਕਨੀਸ਼ੀਅਨ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਦੇ ਪੈਟਰਨਿੰਗ ਲਈ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰ ਹਨ, ਡੀਆਰਐਮ ਵਿਭਾਗ ਨੂੰ ਤਿੰਨ ਟੀਮਾਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਗਿਆ ਹੈ: ਫਰੰਟ ਈਚ (ਆਈਐਸਓ, ਬੀਜੀ, ਬੀਐਲਸੀ); ਮਿਡਲ ਈਚ (GBL, SNC, M0); End Etch (SN, MLM)। ਇਹ ਟੀਮਾਂ ਨਿਰਮਾਣ ਅਹੁਦਿਆਂ ਅਤੇ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਵੀ ਵੰਡੀਆਂ ਗਈਆਂ ਹਨ.
ਨਿਰਮਾਣ ਅਹੁਦੇ ਯੂਨਿਟ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਅਤੇ ਸੁਧਾਰ ਲਈ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰ ਹਨ। ਪਰਿਵਰਤਨਸ਼ੀਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਅਤੇ ਹੋਰ ਉਤਪਾਦਨ ਅਨੁਕੂਲਨ ਉਪਾਵਾਂ ਦੁਆਰਾ ਉਪਜ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਨਿਰਮਾਣ ਸਥਿਤੀਆਂ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ।
ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਹੋਣ ਵਾਲੀਆਂ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਤੋਂ ਬਚਣ ਲਈ ਉਪਕਰਨ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਉਤਪਾਦਨ ਦੇ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੇ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਅਤੇ ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਲਈ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰ ਹਨ। ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੀ ਮੁੱਖ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰੀ ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਸਰਵੋਤਮ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਹੈ।
ਹਾਲਾਂਕਿ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰੀਆਂ ਸਪੱਸ਼ਟ ਹਨ, ਸਾਰੀਆਂ ਟੀਮਾਂ ਇੱਕ ਸਾਂਝੇ ਟੀਚੇ ਵੱਲ ਕੰਮ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ - ਅਰਥਾਤ, ਉਤਪਾਦਕਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਲਈ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਅਤੇ ਸੰਬੰਧਿਤ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦਾ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਅਤੇ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨਾ। ਇਸ ਲਈ, ਹਰੇਕ ਟੀਮ ਸਰਗਰਮੀ ਨਾਲ ਆਪਣੀਆਂ ਪ੍ਰਾਪਤੀਆਂ ਅਤੇ ਸੁਧਾਰ ਲਈ ਖੇਤਰਾਂ ਨੂੰ ਸਾਂਝਾ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਵਪਾਰਕ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਹਿਯੋਗ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਮਿਨੀਏਚਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੀਆਂ ਚੁਣੌਤੀਆਂ ਨਾਲ ਕਿਵੇਂ ਨਜਿੱਠਣਾ ਹੈ

SK Hynix ਨੇ ਜੁਲਾਈ 2021 ਵਿੱਚ 10nm (1a) ਕਲਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ 8Gb LPDDR4 DRAM ਉਤਪਾਦਾਂ ਦਾ ਵੱਡੇ ਪੱਧਰ 'ਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਸ਼ੁਰੂ ਕੀਤਾ।

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੈਮੋਰੀ ਸਰਕਟ ਪੈਟਰਨ 10nm ਯੁੱਗ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੋ ਗਏ ਹਨ, ਅਤੇ ਸੁਧਾਰਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਇੱਕ ਸਿੰਗਲ DRAM ਲਗਭਗ 10,000 ਸੈੱਲਾਂ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਸਲਈ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵੀ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦਾ ਹਾਸ਼ੀਆ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਹੈ।
ਜੇਕਰ ਬਣਿਆ ਮੋਰੀ (ਹੋਲ) 6 ਬਹੁਤ ਛੋਟਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ "ਖੁੱਲਿਆ" ਦਿਖਾਈ ਦੇ ਸਕਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਚਿੱਪ ਦੇ ਹੇਠਲੇ ਹਿੱਸੇ ਨੂੰ ਰੋਕ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਜੇਕਰ ਬਣਿਆ ਮੋਰੀ ਬਹੁਤ ਵੱਡਾ ਹੈ, ਤਾਂ "ਬ੍ਰਿਜਿੰਗ" ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਦੋ ਛੇਕਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਪਾੜਾ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ "ਬ੍ਰਿਜਿੰਗ" ਵਾਪਰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਅਗਲੇ ਪੜਾਅ ਵਿੱਚ ਆਪਸੀ ਅਡਜਸ਼ਨ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਸੁਧਾਰੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਮੋਰੀ ਦੇ ਆਕਾਰ ਦੇ ਮੁੱਲਾਂ ਦੀ ਰੇਂਜ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਸੁੰਗੜ ਰਹੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਹ ਜੋਖਮ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਖਤਮ ਹੋ ਜਾਣਗੇ।
ਉਪਰੋਕਤ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕਰਨ ਲਈ, ਐਚਿੰਗ ਟੈਕਨੋਲੋਜੀ ਮਾਹਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨਾ ਜਾਰੀ ਰੱਖਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਵਿਧੀ ਅਤੇ APC7 ਐਲਗੋਰਿਦਮ ਨੂੰ ਸੋਧਣਾ, ਅਤੇ ADCC8 ਅਤੇ LSR9 ਵਰਗੀਆਂ ਨਵੀਆਂ ਐਚਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਨੂੰ ਪੇਸ਼ ਕਰਨਾ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ।
ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਗਾਹਕਾਂ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ਵਧੇਰੇ ਵਿਭਿੰਨ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਇੱਕ ਹੋਰ ਚੁਣੌਤੀ ਸਾਹਮਣੇ ਆਈ ਹੈ - ਬਹੁ-ਉਤਪਾਦ ਉਤਪਾਦਨ ਦਾ ਰੁਝਾਨ। ਅਜਿਹੀਆਂ ਗਾਹਕ ਲੋੜਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ, ਹਰੇਕ ਉਤਪਾਦ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਨੂੰ ਵੱਖਰੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈੱਟ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਇੰਜੀਨੀਅਰਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਬਹੁਤ ਹੀ ਖਾਸ ਚੁਣੌਤੀ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਵੱਡੇ ਪੱਧਰ 'ਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨੂੰ ਸਥਾਪਿਤ ਹਾਲਤਾਂ ਅਤੇ ਵਿਭਿੰਨ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੋਵਾਂ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ।
ਇਸ ਲਈ, ਈਚ ਇੰਜਨੀਅਰਾਂ ਨੇ ਕੋਰ ਉਤਪਾਦਾਂ (ਕੋਰ ਉਤਪਾਦਾਂ) ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਡੈਰੀਵੇਟਿਵਜ਼ ਦਾ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਕਰਨ ਲਈ "ਏਪੀਸੀ ਆਫਸੈੱਟ" 10 ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੀ, ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਉਤਪਾਦਾਂ ਦਾ ਵਿਆਪਕ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਕਰਨ ਲਈ "ਟੀ-ਇੰਡੈਕਸ ਸਿਸਟਮ" ਦੀ ਸਥਾਪਨਾ ਅਤੇ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ। ਇਹਨਾਂ ਯਤਨਾਂ ਰਾਹੀਂ, ਬਹੁ-ਉਤਪਾਦ ਉਤਪਾਦਨ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਸਿਸਟਮ ਨੂੰ ਲਗਾਤਾਰ ਸੁਧਾਰਿਆ ਗਿਆ ਹੈ।