ਸੈਮੀਸੇਰਾ ਦਾਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਿੱਸਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਨਾਜ਼ੁਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸੁਰੱਖਿਅਤ ਢੰਗ ਨਾਲ ਰੱਖਣ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਦਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟਬੇਮਿਸਾਲ ਸੁਰੱਖਿਆ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਹਰ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਣ, ਸਟੋਰੇਜ ਅਤੇ ਆਵਾਜਾਈ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਗੰਦਗੀ ਅਤੇ ਸਰੀਰਕ ਨੁਕਸਾਨ ਤੋਂ ਮੁਕਤ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਰਸਾਇਣਕ-ਰੋਧਕ ਸਮੱਗਰੀ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਨਾਲ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟਉਤਪਾਦਨ ਦੇ ਹਰ ਪੜਾਅ 'ਤੇ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ, ਸਫਾਈ ਅਤੇ ਟਿਕਾਊਤਾ ਦੇ ਉੱਚੇ ਪੱਧਰਾਂ ਦੀ ਗਾਰੰਟੀ ਦਿੰਦਾ ਹੈ। ਇਹਨਾਂ ਕੈਸੇਟਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਇੰਜਨੀਅਰਿੰਗ ਆਟੋਮੇਟਿਡ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਦੇ ਨਾਲ ਸਹਿਜ ਏਕੀਕਰਣ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦੀ ਹੈ, ਗੰਦਗੀ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਨੁਕਸਾਨ ਦੇ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਦਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟਅਨੁਕੂਲ ਹਵਾ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦਾ ਵੀ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਉਹਨਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ ਜਿਹਨਾਂ ਲਈ ਖਾਸ ਵਾਤਾਵਰਣਕ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਭਾਵੇਂ ਕਲੀਨ ਰੂਮ ਜਾਂ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਸੇਮੀਸੇਰਾਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਦੀਆਂ ਸਖ਼ਤ ਮੰਗਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਨਿਰਮਾਣ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।
| ਆਈਟਮਾਂ | ਉਤਪਾਦਨ | ਖੋਜ | ਨਕਲੀ |
| ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||
| ਪੌਲੀਟਾਈਪ | 4H | ||
| ਸਤਹ ਸਥਿਤੀ ਤਰੁੱਟੀ | <11-20 >4±0.15° | ||
| ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||
| ਡੋਪੈਂਟ | n-ਕਿਸਮ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ | ||
| ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||
| ਵਿਆਸ | 150.0±0.2mm | ||
| ਮੋਟਾਈ | 350±25 μm | ||
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਸਥਿਤੀ | [1-100]±5° | ||
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 47.5±1.5mm | ||
| ਸੈਕੰਡਰੀ ਫਲੈਟ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ||
| ਟੀ.ਟੀ.ਵੀ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| ਕਮਾਨ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ਵਾਰਪ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ਸਾਹਮਣੇ (ਸੀ-ਫੇਸ) ਖੁਰਦਰੀ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ਬਣਤਰ | |||
| ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ਧਾਤੂ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ | ≤5E10 ਐਟਮ/cm2 | NA | |
| ਬੀ.ਪੀ.ਡੀ | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| ਟੀ.ਐੱਸ.ਡੀ | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| ਸਾਹਮਣੇ ਗੁਣਵੱਤਾ | |||
| ਸਾਹਮਣੇ | Si | ||
| ਸਤਹ ਮੁਕੰਮਲ | ਸੀ-ਫੇਸ CMP | ||
| ਕਣ | ≤60ea/ਵੇਫਰ (ਆਕਾਰ≥0.3μm) | NA | |
| ਸਕ੍ਰੈਚਸ | ≤5ea/mm ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ ≤ਵਿਆਸ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ≤2*ਵਿਆਸ | NA |
| ਸੰਤਰੇ ਦਾ ਛਿਲਕਾ/ਟੋਏ/ਧੱਬੇ/ਧਾਰੀਆਂ/ਚੀਰ/ਗੰਦਗੀ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | NA | |
| ਕਿਨਾਰੇ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟਸ/ਫ੍ਰੈਕਚਰ/ਹੈਕਸ ਪਲੇਟਾਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ||
| ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਖੇਤਰ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ≤20% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ≤30% |
| ਫਰੰਟ ਲੇਜ਼ਰ ਮਾਰਕਿੰਗ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ||
| ਵਾਪਸ ਗੁਣਵੱਤਾ | |||
| ਵਾਪਸ ਮੁਕੰਮਲ | C-ਫੇਸ CMP | ||
| ਸਕ੍ਰੈਚਸ | ≤5ea/mm, ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ≤2*ਵਿਆਸ | NA | |
| ਪਿਛਲੇ ਨੁਕਸ (ਕਿਨਾਰੇ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟ) | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ||
| ਵਾਪਸ ਮੋਟਾਪਨ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ਪਿੱਛੇ ਲੇਜ਼ਰ ਮਾਰਕਿੰਗ | 1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ (ਚੋਟੀ ਦੇ ਕਿਨਾਰੇ ਤੋਂ) | ||
| ਕਿਨਾਰਾ | |||
| ਕਿਨਾਰਾ | ਚੈਂਫਰ | ||
| ਪੈਕੇਜਿੰਗ | |||
| ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਵੈਕਿਊਮ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਦੇ ਨਾਲ ਐਪੀ-ਤਿਆਰ ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ||
| *ਨੋਟ: "NA" ਦਾ ਮਤਲਬ ਕੋਈ ਬੇਨਤੀ ਨਹੀਂ ਆਈਟਮਾਂ ਦਾ ਜ਼ਿਕਰ ਨਹੀਂ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਉਹ SEMI-STD ਦਾ ਹਵਾਲਾ ਦੇ ਸਕਦੇ ਹਨ। | |||
