ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਹਿੱਸਿਆਂ ਅਤੇ ਕੈਰੀਅਰਾਂ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਦੀ ਮੋਹਰੀ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, SIC/GAN ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਅਤੇ EPI ਲੇਅਰਾਂ ਦੀ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ (ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕੋਟੇਡ TaC ਸੰਸਪੈਕਟਰ), ਅਤੇ ਮੁੱਖ ਰਿਐਕਟਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੇ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣਾ। ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਸਮੱਸਿਆ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕਰਨ ਅਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਲਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈਮੀਸੇਰਾ ਨੇ ਅੰਤਰਰਾਸ਼ਟਰੀ ਉੱਨਤ ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਕੇ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ (ਸੀਵੀਡੀ) ਨੂੰ ਸਫਲਤਾਪੂਰਵਕ ਹੱਲ ਕੀਤਾ ਹੈ।
ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਇੱਕ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ, ਪਰ ਇਹ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ 'ਤੇ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਅੜਿੱਕੇ ਗੈਸ ਵਾਲੀਆਂ ਵੈਕਿਊਮ ਭੱਠੀਆਂ ਵਿੱਚ ਵੀ, ਇਹ ਅਜੇ ਵੀ ਹੌਲੀ ਆਕਸੀਕਰਨ ਤੋਂ ਗੁਜ਼ਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇੱਕ CVD ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਨਾਲ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਸੁਰੱਖਿਅਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਦੇ ਸਮਾਨ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਟੀਏਸੀ ਇੱਕ ਅੜਿੱਕਾ ਪਦਾਰਥ ਵੀ ਹੈ, ਭਾਵ ਇਹ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ 'ਤੇ ਆਰਗਨ ਜਾਂ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਵਰਗੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਨਹੀਂ ਕਰੇਗਾ।ਪੁੱਛਗਿੱਛਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸੀਵੀਡੀ ਕੋਟਿੰਗ ਈਪੀਆਈ ਸਸੈਪਟਰ ਹੁਣ!
ਸਾਲਾਂ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਬਾਅਦ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਨੇ ਦੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨੂੰ ਜਿੱਤ ਲਿਆ ਹੈCVD TaCਖੋਜ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਵਿਭਾਗ ਦੇ ਸਾਂਝੇ ਯਤਨਾਂ ਨਾਲ. SiC ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਪਰ ਵਰਤਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦਟੀ.ਏ.ਸੀ, ਅੰਤਰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਹੇਠਾਂ ਟੀਏਸੀ ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਬਿਨਾਂ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਨਾਲ ਹੀ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਲਈ ਸਿਮੀਸੇਰਾ ਦੇ ਹਿੱਸੇ ਹਨ।
TaC ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਬਿਨਾਂ
TaC (ਸੱਜੇ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ
ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਦੇਟੀਏਸੀ-ਕੋਟੇਡ ਉਤਪਾਦਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਲੰਬੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਅਤੇ ਵੱਧ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈSiC ਕੋਟਿੰਗਸ.ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ ਦੇ ਮਾਪਾਂ ਨੇ ਦਿਖਾਇਆ ਹੈ ਕਿ ਸਾਡੇਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗਸਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਲਗਾਤਾਰ 2300 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹੇਠਾਂ ਸਾਡੇ ਨਮੂਨਿਆਂ ਦੀਆਂ ਕੁਝ ਉਦਾਹਰਣਾਂ ਹਨ:
