ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟੇਡ ਸਸਪਟਰ ਸਪੋਰਟ ਪਲੇਟਦੀ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਪਰਤ ਨਾਲ ਕਵਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਇੱਕ susceptor ਜ ਸਹਿਯੋਗ ਬਣਤਰ ਹੈtantalum ਕਾਰਬਾਈਡ. ਇਹ ਪਰਤ ਸੂਸਪੇਟਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਭੌਤਿਕ ਵਾਸ਼ਪ ਜਮ੍ਹਾ (PVD) ਜਾਂ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (CVD) ਵਰਗੀਆਂ ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੁਆਰਾ ਬਣਾਈ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸੂਸਪੇਟਰ ਨੂੰ ਉੱਚਤਮ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਮਿਲਦੀਆਂ ਹਨ।tantalum ਕਾਰਬਾਈਡ.
ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਹਿੱਸਿਆਂ ਅਤੇ ਕੈਰੀਅਰਾਂ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਦੀ ਮੋਹਰੀ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, SIC/GAN ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਅਤੇ EPI ਲੇਅਰਾਂ ਦੀ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ (ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕੋਟੇਡ TaC ਸੰਸਪੈਕਟਰ), ਅਤੇ ਮੁੱਖ ਰਿਐਕਟਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੇ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣਾ। ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਸਮੱਸਿਆ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕਰਨ ਅਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਲਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈਮੀਸੇਰਾ ਨੇ ਅੰਤਰਰਾਸ਼ਟਰੀ ਉੱਨਤ ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਕੇ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ (ਸੀਵੀਡੀ) ਨੂੰ ਸਫਲਤਾਪੂਰਵਕ ਹੱਲ ਕੀਤਾ ਹੈ।
ਸਾਲਾਂ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਬਾਅਦ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਨੇ ਦੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨੂੰ ਜਿੱਤ ਲਿਆ ਹੈCVD TaCਖੋਜ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਵਿਭਾਗ ਦੇ ਸਾਂਝੇ ਯਤਨਾਂ ਨਾਲ. SiC ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਪਰ ਵਰਤਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦਟੀ.ਏ.ਸੀ, ਅੰਤਰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਹੇਠਾਂ ਟੀਏਸੀ ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਬਿਨਾਂ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਨਾਲ ਹੀ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਲਈ ਸਿਮੀਸੇਰਾ ਦੇ ਹਿੱਸੇ ਹਨ।
ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟੇਡ ਬੇਸ ਸਪੋਰਟ ਪਲੇਟਾਂ ਦੀਆਂ ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
1. ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ: ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਕੋਟੇਡ ਬੇਸ ਸਪੋਰਟ ਪਲੇਟ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਸਹਾਇਤਾ ਲੋੜਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵੀਂ ਬਣ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
2. ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵਧੀਆ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਹੈ, ਰਸਾਇਣਕ ਖੋਰ ਅਤੇ ਆਕਸੀਕਰਨ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਅਧਾਰ ਦੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਵਧਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
3. ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ ਅਤੇ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ ਬੇਸ ਸਪੋਰਟ ਪਲੇਟ ਨੂੰ ਵਧੀਆ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਉੱਚ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੀ ਲੋੜ ਵਾਲੇ ਮੌਕਿਆਂ ਲਈ ਢੁਕਵੀਂ ਹੈ।
4. ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ: ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵਿੱਚ ਕਈ ਤਰ੍ਹਾਂ ਦੇ ਰਸਾਇਣਕ ਪਦਾਰਥਾਂ ਲਈ ਉੱਚ ਸਥਿਰਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਕੋਟਿਡ ਬੇਸ ਸਪੋਰਟ ਪਲੇਟ ਕੁਝ ਖਰਾਬ ਵਾਤਾਵਰਨ ਵਿੱਚ ਵਧੀਆ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।
TaC ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਬਿਨਾਂ
TaC (ਸੱਜੇ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ
ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਦੇਟੀਏਸੀ-ਕੋਟੇਡ ਉਤਪਾਦਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਲੰਬੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਅਤੇ ਵੱਧ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈSiC ਕੋਟਿੰਗਸ.ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ ਦੇ ਮਾਪਾਂ ਨੇ ਦਿਖਾਇਆ ਹੈ ਕਿ ਸਾਡੇਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗਸਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਲਗਾਤਾਰ 2300 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹੇਠਾਂ ਸਾਡੇ ਨਮੂਨਿਆਂ ਦੀਆਂ ਕੁਝ ਉਦਾਹਰਣਾਂ ਹਨ:
