ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸਮੱਗਰੀ ਪਰਤ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮੈਟਲ ਆਰਗੈਨਿਕ ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ (MOCVD) ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੁਆਰਾ ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਅਧਾਰ 'ਤੇ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ, ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ, ਅਤੇ ਕਈ ਉੱਚ-ਮੰਗ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵੀਂ ਹੈ।
MOCVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਇੱਕ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਵਿਕਾਸ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਹੈ ਜੋ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸਾਂ ਨਾਲ ਧਾਤੂ ਜੈਵਿਕ ਪੂਰਵਜਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਕੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਲੋੜੀਂਦੀ ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਵੇਲੇਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ, ਢੁਕਵੇਂ ਧਾਤੂ ਜੈਵਿਕ ਪੂਰਵ ਅਤੇ ਕਾਰਬਨ ਸਰੋਤਾਂ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਕੇ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਇੱਕ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਅਧਾਰ 'ਤੇ ਇਕਸਾਰ ਅਤੇ ਸੰਘਣੀ ਟੀਏਸੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ।
ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਹਿੱਸਿਆਂ ਅਤੇ ਕੈਰੀਅਰਾਂ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਦੀ ਮੋਹਰੀ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, SIC/GAN ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਅਤੇ EPI ਲੇਅਰਾਂ ਦੀ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ (ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕੋਟੇਡ TaC ਸੰਸਪੈਕਟਰ), ਅਤੇ ਮੁੱਖ ਰਿਐਕਟਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੇ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣਾ। ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਸਮੱਸਿਆ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕਰਨ ਅਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਲਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈਮੀਸੇਰਾ ਨੇ ਅੰਤਰਰਾਸ਼ਟਰੀ ਉੱਨਤ ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਕੇ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ (ਸੀਵੀਡੀ) ਨੂੰ ਸਫਲਤਾਪੂਰਵਕ ਹੱਲ ਕੀਤਾ ਹੈ।
ਸਾਲਾਂ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਬਾਅਦ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਨੇ ਦੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨੂੰ ਜਿੱਤ ਲਿਆ ਹੈCVD TaCਖੋਜ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਵਿਭਾਗ ਦੇ ਸਾਂਝੇ ਯਤਨਾਂ ਨਾਲ. SiC ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਪਰ ਵਰਤਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦਟੀ.ਏ.ਸੀ, ਅੰਤਰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਹੇਠਾਂ ਟੀਏਸੀ ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਬਿਨਾਂ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਨਾਲ ਹੀ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਲਈ ਸਿਮੀਸੇਰਾ ਦੇ ਹਿੱਸੇ ਹਨ।
TaC ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਬਿਨਾਂ
TaC (ਸੱਜੇ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ
ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਦੇਟੀਏਸੀ-ਕੋਟੇਡ ਉਤਪਾਦਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਲੰਬੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਅਤੇ ਵੱਧ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈSiC ਕੋਟਿੰਗਸ.ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ ਦੇ ਮਾਪਾਂ ਨੇ ਦਿਖਾਇਆ ਹੈ ਕਿ ਸਾਡੇਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗਸਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਲਗਾਤਾਰ 2300 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹੇਠਾਂ ਸਾਡੇ ਨਮੂਨਿਆਂ ਦੀਆਂ ਕੁਝ ਉਦਾਹਰਣਾਂ ਹਨ:
