ਸੀਵੀਡੀ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਜਾਣ-ਪਛਾਣ:
CVD TaC ਕੋਟਿੰਗ ਇੱਕ ਤਕਨੀਕ ਹੈ ਜੋ ਇੱਕ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਮਕੈਨੀਕਲ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਗੁਣਾਂ ਵਾਲੀ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੀ ਵਸਰਾਵਿਕ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ। ਸੀਵੀਡੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਇਕਸਾਰ ਟੀਏਸੀ ਫਿਲਮ ਤਿਆਰ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ:
ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਕਠੋਰਤਾ ਅਤੇ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਕਠੋਰਤਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੀਵੀਡੀ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਵਿੱਚ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੁਧਾਰ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਕੋਟਿੰਗ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਪਹਿਰਾਵੇ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਔਜ਼ਾਰ ਅਤੇ ਮੋਲਡ।
ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ: TaC ਕੋਟਿੰਗਸ 2200°C ਤੱਕ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਨਾਜ਼ੁਕ ਭੱਠੀ ਅਤੇ ਰਿਐਕਟਰ ਦੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਰੱਖਿਆ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਚੰਗੀ ਸਥਿਰਤਾ ਦਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਰਦੇ ਹੋਏ। ਇਹ ਅਤਿਅੰਤ ਤਾਪਮਾਨ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਕਾਇਮ ਰੱਖਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ: ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵਿੱਚ ਜ਼ਿਆਦਾਤਰ ਐਸਿਡਾਂ ਅਤੇ ਅਲਕਾਲੀਆਂ ਲਈ ਮਜ਼ਬੂਤ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੀਵੀਡੀ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਖੋਰ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਨ ਵਿੱਚ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਰੋਕ ਸਕਦੀ ਹੈ।
ਉੱਚ ਪਿਘਲਣ ਬਿੰਦੂ: ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦਾ ਇੱਕ ਉੱਚ ਪਿਘਲਣ ਵਾਲਾ ਬਿੰਦੂ (ਲਗਭਗ 3880°C) ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ CVD TaC ਕੋਟਿੰਗ ਨੂੰ ਪਿਘਲਣ ਜਾਂ ਘਟਾਏ ਬਿਨਾਂ ਅਤਿ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ: TaC ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਖਤਮ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸਥਾਨਕ ਓਵਰਹੀਟਿੰਗ ਨੂੰ ਰੋਕਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਸੰਭਾਵੀ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ:
• ਗੈਲਿਅਮ ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ (GaN) ਅਤੇ ਸਿਲਿਕਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ CVD ਰਿਐਕਟਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ, ਸੈਟੇਲਾਈਟ ਡਿਸ਼, ਸ਼ਾਵਰਹੈੱਡ, ਛੱਤ, ਅਤੇ ਸਸੈਪਟਰ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ
• ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ, ਗੈਲਿਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਅਤੇ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ (AlN) ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਕਰੂਸੀਬਲ, ਬੀਜ ਧਾਰਕ, ਗਾਈਡ ਰਿੰਗ ਅਤੇ ਫਿਲਟਰ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ
• ਉਦਯੋਗਿਕ ਹਿੱਸੇ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕ ਹੀਟਿੰਗ ਤੱਤ, ਇੰਜੈਕਸ਼ਨ ਨੋਜ਼ਲ, ਮਾਸਕਿੰਗ ਰਿੰਗ ਅਤੇ ਬ੍ਰੇਜ਼ਿੰਗ ਜਿਗ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ:
• ਤਾਪਮਾਨ 2000 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਸਥਿਰ, ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਤਾਪਮਾਨਾਂ 'ਤੇ ਕੰਮ ਕਰਨ ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਦਿੰਦਾ ਹੈ
• ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ (Hz), ਅਮੋਨੀਆ (NH3), ਮੋਨੋਸਿਲੇਨ (SiH4) ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ (Si) ਪ੍ਰਤੀ ਰੋਧਕ, ਕਠੋਰ ਰਸਾਇਣਕ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਸੁਰੱਖਿਆ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ
• ਇਸਦਾ ਥਰਮਲ ਸਦਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਤੇਜ਼ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਚੱਕਰ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ
• ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਵਿੱਚ ਮਜ਼ਬੂਤ ਅਡਜਸ਼ਨ ਹੈ, ਇੱਕ ਲੰਬੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਕੋਈ ਕੋਟਿੰਗ ਡੀਲੈਮੀਨੇਸ਼ਨ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
• ਬੇਲੋੜੀ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਜਾਂ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਨ ਲਈ ਅਤਿ-ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ
• ਤੰਗ ਆਯਾਮੀ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਕੋਟਿੰਗ ਕਵਰੇਜ
ਤਕਨੀਕੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ:
CVD ਦੁਆਰਾ ਸੰਘਣੀ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ:
ਉੱਚ ਕ੍ਰਿਸਟਾਲਿਨਿਟੀ ਅਤੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਇਕਸਾਰਤਾ ਦੇ ਨਾਲ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ:
ਸੀਵੀਡੀ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨੀਕੀ ਮਾਪਦੰਡ_ਸੈਮੀਸੇਰਾ:
ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀਆਂ ਭੌਤਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ | |
ਘਣਤਾ | 14.3 (g/cm³) |
ਬਲਕ ਇਕਾਗਰਤਾ | 8 x 1015/ਸੈ.ਮੀ |
ਖਾਸ emissivity | 0.3 |
ਥਰਮਲ ਵਿਸਤਾਰ ਗੁਣਾਂਕ | 6.3 10-6/K |
ਕਠੋਰਤਾ (HK) | 2000 HK |
ਬਲਕ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ | 4.5 ਓਮ-ਸੈ.ਮੀ |
ਵਿਰੋਧ | 1x10-5Ohm*cm |
ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ | <2500℃ |
ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ | 237 ਸੈ.ਮੀ2/ਬਨਾਮ |
ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਦਾ ਆਕਾਰ ਬਦਲਦਾ ਹੈ | -10~-20um |
ਪਰਤ ਦੀ ਮੋਟਾਈ | ≥20um ਆਮ ਮੁੱਲ (35um+10um) |
ਉਪਰੋਕਤ ਆਮ ਮੁੱਲ ਹਨ.