TaC ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਗਾਈਡ ਰਿੰਗਦੀ ਪਤਲੀ ਪਰਤ ਦੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਦਾ ਹਵਾਲਾ ਦਿਓtantalum ਕਾਰਬਾਈਡਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਗਾਈਡ ਰਿੰਗ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇਸ ਦੇ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ। ਇਹ ਪਰਤ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (PVD) ਜਾਂ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (CVD) ਵਰਗੀਆਂ ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੁਆਰਾ ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਗਾਈਡ ਰਿੰਗ ਦੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਬਣਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਹਿੱਸਿਆਂ ਅਤੇ ਕੈਰੀਅਰਾਂ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਦੀ ਮੋਹਰੀ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, SIC/GAN ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਅਤੇ EPI ਲੇਅਰਾਂ ਦੀ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ (ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕੋਟੇਡ TaC ਸੰਸਪੈਕਟਰ), ਅਤੇ ਮੁੱਖ ਰਿਐਕਟਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੇ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣਾ। ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਸਮੱਸਿਆ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕਰਨ ਅਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਲਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈਮੀਸੇਰਾ ਨੇ ਅੰਤਰਰਾਸ਼ਟਰੀ ਉੱਨਤ ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਕੇ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ (ਸੀਵੀਡੀ) ਨੂੰ ਸਫਲਤਾਪੂਰਵਕ ਹੱਲ ਕੀਤਾ ਹੈ।
ਸਾਲਾਂ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਬਾਅਦ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਨੇ ਦੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨੂੰ ਜਿੱਤ ਲਿਆ ਹੈCVD TaCਖੋਜ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਵਿਭਾਗ ਦੇ ਸਾਂਝੇ ਯਤਨਾਂ ਨਾਲ. SiC ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਪਰ ਵਰਤਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦਟੀ.ਏ.ਸੀ, ਅੰਤਰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਹੇਠਾਂ ਟੀਏਸੀ ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਬਿਨਾਂ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਨਾਲ ਹੀ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਲਈ ਸਿਮੀਸੇਰਾ ਦੇ ਹਿੱਸੇ ਹਨ।
TaC ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਗਾਈਡ ਰਿੰਗਾਂ ਦੀਆਂ ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
1. ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: TaC ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ ਹੈ ਅਤੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖ ਸਕਦੀ ਹੈ।
2. ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਪਤਲੀ ਪਰਤ ਦੀ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ ਗਾਈਡ ਰਿੰਗ ਨੂੰ ਵਧੀਆ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦਿੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੀ ਹੈ।
3. ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ: ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਖੋਰ ਦੇ ਵਿਰੁੱਧ ਉੱਚ ਸਥਿਰਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਨੂੰ ਕੁਝ ਖੋਰ ਮੀਡੀਆ ਵਿੱਚ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
4. ਰਗੜ ਘਟਾਓ: ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਗਾਈਡ ਰਿੰਗ ਅਤੇ ਹੋਰ ਭਾਗਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਰਗੜ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਘਟਾ ਸਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਸੀਲਾਂ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।
TaC ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਬਿਨਾਂ
TaC (ਸੱਜੇ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ
ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਦੇਟੀਏਸੀ-ਕੋਟੇਡ ਉਤਪਾਦਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਲੰਬੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਅਤੇ ਵੱਧ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈSiC ਕੋਟਿੰਗਸ.ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ ਦੇ ਮਾਪਾਂ ਨੇ ਦਿਖਾਇਆ ਹੈ ਕਿ ਸਾਡੇਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗਸਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਲਗਾਤਾਰ 2300 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹੇਠਾਂ ਸਾਡੇ ਨਮੂਨਿਆਂ ਦੀਆਂ ਕੁਝ ਉਦਾਹਰਣਾਂ ਹਨ:
