ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ ਦੇ ਨਾਲ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸਸਪੇਟਰ

CVD-SiC ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰ ਭੌਤਿਕ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਇੱਕਸਾਰ ਬਣਤਰ, ਸੰਖੇਪ ਸਮੱਗਰੀ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਆਕਸੀਕਰਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਐਸਿਡ ਅਤੇ ਅਲਕਲੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਜੈਵਿਕ ਰੀਐਜੈਂਟ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ।
ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ 400C 'ਤੇ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ ਕਰਨਾ ਸ਼ੁਰੂ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਆਕਸੀਕਰਨ ਕਾਰਨ ਪਾਊਡਰ ਦਾ ਨੁਕਸਾਨ ਹੋਵੇਗਾ, ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਪੈਰੀਫਿਰਲ ਯੰਤਰਾਂ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰਾਂ ਲਈ ਵਾਤਾਵਰਣ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੀਆਂ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਵਧਦੀਆਂ ਹਨ।
ਹਾਲਾਂਕਿ, SiC ਕੋਟਿੰਗ 1600 ਡਿਗਰੀ 'ਤੇ ਭੌਤਿਕ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਬਰਕਰਾਰ ਰੱਖ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਇਹ ਆਧੁਨਿਕ ਉਦਯੋਗ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।