ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ ਦੀ ਜਾਣ-ਪਛਾਣ
ਉਤਪਾਦ ਸ਼੍ਰੇਣੀ
▶PECVD ਅਤੇ TALOX ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ ਸਿਸਟਮ
• PECVD ਅਤੇ TALOX ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ (M4~M12)
• ਵਰਟੀਕਲ SM-ਬੋਟ (M4, M6)
• ਇਮਪਲਾਂਟ ਅਤੇ ਸ਼ਾਵਰ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਭਾਗ (M4~M6)
• C/C ਟ੍ਰੇ ਅਤੇ ਸਿਰੇਮਿਕ ਕੋਟਿੰਗ
• ਧਾਤੂ RIE-ਟ੍ਰੇ ਅਤੇ ਸਿਰੇਮਿਕ ਕੋਟਿੰਗ
• ਵੈਕਿਊਮ ਸੀਲਿੰਗ: O-ਰਿੰਗ ਅਤੇ SQ-ਰਿੰਗ
▶ਟੈਕਸਟਚਰਿੰਗ ਅਤੇ ਵੈੱਟ ਐਚਿੰਗ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
• LSC H-ਕੈਰੀਅਰ ਜਾਂ ਕੈਸੇਟ (M4~M12)
• LSC V-ਕੈਰੀਅਰ ਜਾਂ ਕੈਸੇਟ (M4~M12)
• ASC ਕੈਰੀਅਰ ਜਾਂ ਕੈਸੇਟ (M4, M6)
• W/F ਕੈਰੀਅਰ ਅਤੇ ਸਟੋਰੇਜ ਬਾਕਸ (M4~M12)
• ਟਰਾਂਸਪੋਰਟ ਵ੍ਹੀਲ (ਰੋਲਰ) ਸੀਰੀਜ਼
▶ਸੋਲਰ ਸੈੱਲ ਕੈਰੀਅਰ ਅਤੇ ਧਾਤੂ ਕੈਰੀਅਰ
• TRC ਕੈਰੀਅਰ ਜਾਂ ਕੈਸੇਟ (M4~M12)
• ਮੈਗਜ਼ੀਨ (BELT ਦੇ ਨਾਲ)
ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਬੋਟ (ਐੱਚ-ਟਾਈਪ)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਬੋਟ (ਐੱਚ-ਟਾਈਪ)
21P6-240CT WF M4~M12)
ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਬੋਟ (ਐੱਚ-ਟਾਈਪ)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਬੋਟ (ਐੱਚ-ਟਾਈਪ)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਬੋਟ (ਐੱਚ-ਟਾਈਪ)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF ਕੈਰੀਅਰ ਅਤੇ ਸਟੋਰੇਜ ਬਾਕਸ (~M12)
C/C ਟਰੇ ਜਾਂ ਕੈਰੀਅਰ (M4~M10)
C/C ਟਰੇ ਜਾਂ ਕੈਰੀਅਰ (M4~M10)
ਵਰਟੀਕਲ ਬੋਟ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC ਕੈਰੀਅਰ (~M6)
TRC ਕੈਰੀਅਰ(~M12)
TRC ਕੈਰੀਅਰ(~M12)
ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ-ਬੋਟ(M12)
PECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ ਸਿਸਟਮ
▶ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਬੋਟ (ਸੀਟੀ-ਡਿਜ਼ਾਇਨ) M10/M12 ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
• ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਸੰਕਲਪ
▶ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਬੋਟ (ਸੀਟੀ-ਡਿਜ਼ਾਇਨ) M4/M6 ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
▶ ਬੋਟ ਐਕਸੈਸਰੀ ਪਾਰਟਸ
▶ ਵਰਟੀਕਲ ਬੋਟ-161.7mm ਵੇਫਰ
▶ ਵਰਟੀਕਲ ਬੋਟ-166mm ਵੇਫਰ
▶ ਵਰਟੀਕਲ ਬੋਟ - 161.7mm, 166mm ਵੇਫਰ
ਸੋਲਰ ਸੈੱਲ ਕੈਰੀਅਰ ਅਤੇ ਧਾਤੂ TRC ਕੈਰੀਅਰ
ਕਿਸਮ: ਆਟੋਮੇਸ਼ਨ
ਵੇਫਰ ਸਾਈਜ਼ : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
ਵਰਤੋਂ: ਕੈਰੀ (ਕੈਸੇਟ)
ਸਮਰੱਥਾ: 100 ਸ਼ੀਟ
ਪਿੱਚ: 4.76mm/5.953mm/6.35mm
ਮਾਪ: ਲਗਭਗ 559×220×220MM
ਲਗਭਗ 712×260×260MM
ਫਾਇਦਾ: ਵਾਯੂਮੰਡਲ
ਸਮੱਗਰੀ: ਫਲੇਮ, ਸਾਈਡ ਬਾਰ-ਅਲਮੀਨੀਅਮ (ਐਨੋਡਾਈਜ਼ਿੰਗ)
ਸਾਈਡ ਪਲੇਟ-ਪੋਮ (ਐਂਟੀਸਟੈਟਿਕ)
ਹੇਠਲੀ ਪੱਟੀ ਦਾ ਕਵਰ-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-ਮੈਟਲ ਕੈਰੀਅਰ (U'SER ਲਾਈਨ)
TRC-ਮੈਟਲ ਕੈਰੀਅਰ (U'SER ਲਾਈਨ)
TRC-ਮੈਟਲ ਕੈਰੀਅਰ (U'SER ਲਾਈਨ)
ਸ਼ਾਵਰ ਪਲੇਟ ਅਤੇ ਇਮਪਲਾਂਟ, ਕੈਰੀਅਰ
