-
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ - ਈਚ ਟੈਕਨਾਲੋਜੀ
ਇੱਕ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵਿੱਚ ਬਦਲਣ ਲਈ ਸੈਂਕੜੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਐਚਿੰਗ ਹੈ - ਯਾਨੀ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਵਧੀਆ ਸਰਕਟ ਪੈਟਰਨ ਬਣਾਉਣਾ। ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸਫਲਤਾ ਇੱਕ ਸੈੱਟ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਰੇਂਜ ਦੇ ਅੰਦਰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਵੇਰੀਏਬਲਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਬੰਧਨ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਹਰੇਕ ਐਚਿੰਗ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਵਿੱਚ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਸਮੱਗਰੀ: ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC)
ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ, ਵਸਰਾਵਿਕ ਹਿੱਸੇ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਸਮੇਤ। ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ, ਵੇਫਰ ਦੇ ਦੁਆਲੇ ਰੱਖੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਦੇ ਸਿੱਧੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਰਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵੋਲਟੇਜ ਲਗਾ ਕੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਵੇਫਰ ਉੱਤੇ ਫੋਕਸ ਕਰਨ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਇਸ ਨਾਲ ਅਨ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ 'ਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦਾ ਪ੍ਰਭਾਵ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪਾਵਰ ਯੰਤਰ ਪਾਵਰ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਸਥਿਤੀ ਰੱਖਦੇ ਹਨ, ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਕਲੀ ਬੁੱਧੀ, 5G ਸੰਚਾਰ ਅਤੇ ਨਵੇਂ ਊਰਜਾ ਵਾਹਨਾਂ ਵਰਗੀਆਂ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦੇ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਸੰਦਰਭ ਵਿੱਚ, ਉਹਨਾਂ ਲਈ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
SiC ਵਿਕਾਸ ਲਈ ਮੁੱਖ ਮੁੱਖ ਸਮੱਗਰੀ: ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ
ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਦੀ ਤੀਜੀ ਪੀੜ੍ਹੀ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦਾ ਦਬਦਬਾ ਹੈ। ਇਸਦੇ ਉਪਕਰਨਾਂ ਦੀ ਲਾਗਤ ਢਾਂਚੇ ਵਿੱਚ, ਸਬਸਟਰੇਟ 47% ਲਈ ਖਾਤਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀ 23% ਲਈ ਖਾਤਾ ਹੈ। ਦੋਵੇਂ ਮਿਲ ਕੇ ਲਗਭਗ 70% ਬਣਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਡਿਵਾਈਸ ਮੈਨੂਫਾ ਦਾ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਿੱਸਾ ਹੈ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟੇਡ ਉਤਪਾਦ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਨੂੰ ਕਿਵੇਂ ਵਧਾਉਂਦੇ ਹਨ?
ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਇੱਕ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਸਤਹ ਇਲਾਜ ਤਕਨੀਕ ਹੈ ਜੋ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਨੂੰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਣ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਟੈਂਟਾਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਤਿਆਰੀ ਵਿਧੀਆਂ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ, ਭੌਤਿਕ ... ਦੁਆਰਾ ਘਟਾਓਣਾ ਦੀ ਸਤਹ ਨਾਲ ਜੋੜਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
ਕੱਲ੍ਹ, ਵਿਗਿਆਨ ਅਤੇ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਇਨੋਵੇਸ਼ਨ ਬੋਰਡ ਨੇ ਇੱਕ ਘੋਸ਼ਣਾ ਜਾਰੀ ਕੀਤੀ ਕਿ Huazhuo ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨੇ ਆਪਣੇ IPO ਨੂੰ ਸਮਾਪਤ ਕਰ ਦਿੱਤਾ ਹੈ!
ਹੁਣੇ ਹੀ ਚੀਨ ਵਿੱਚ ਪਹਿਲੇ 8-ਇੰਚ ਦੇ SIC ਲੇਜ਼ਰ ਐਨੀਲਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਡਿਲਿਵਰੀ ਦਾ ਐਲਾਨ ਕੀਤਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਸਿੰਹੁਆ ਦੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਵੀ ਹੈ; ਉਨ੍ਹਾਂ ਨੇ ਖੁਦ ਸਮੱਗਰੀ ਕਿਉਂ ਵਾਪਸ ਲੈ ਲਈ? ਬਸ ਕੁਝ ਸ਼ਬਦ: ਪਹਿਲਾਂ, ਉਤਪਾਦ ਬਹੁਤ ਵਿਭਿੰਨ ਹਨ! ਪਹਿਲੀ ਨਜ਼ਰ 'ਤੇ, ਮੈਨੂੰ ਨਹੀਂ ਪਤਾ ਕਿ ਉਹ ਕੀ ਕਰਦੇ ਹਨ. ਇਸ ਸਮੇਂ, ਐੱਚ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
ਸੀਵੀਡੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ -2
ਸੀਵੀਡੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ 1. ਇੱਥੇ ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਕਿਉਂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਪਰਤ ਇੱਕ ਖਾਸ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਹੈ ਜੋ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਵੇਫਰ ਦੇ ਅਧਾਰ 'ਤੇ ਉਗਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੇਫਰ ਅਤੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਥਿਨ ਫਿਲਮ ਨੂੰ ਸਮੂਹਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵੇਫਰ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਉਨ੍ਹਾਂ ਵਿੱਚ, ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
SIC ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਐਸਆਈਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਦੇ ਤਰੀਕਿਆਂ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਜੈੱਲ-ਸੋਲ ਵਿਧੀ, ਏਮਬੈਡਿੰਗ ਵਿਧੀ, ਬੁਰਸ਼ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿਧੀ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਛਿੜਕਾਅ ਵਿਧੀ, ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਵਿਧੀ (ਸੀਵੀਆਰ) ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ ਵਿਧੀ (ਸੀਵੀਡੀ) ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਏਮਬੈਡਿੰਗ ਵਿਧੀ ਇਹ ਵਿਧੀ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਠੋਸ-ਪੜਾਅ ਦੀ ਇੱਕ ਕਿਸਮ ਹੈ ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
CVD ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ-1
ਸੀਵੀਡੀ ਕੀ ਹੈ SiC ਕੈਮੀਕਲ ਵੈਪਰ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ (CVD) ਇੱਕ ਵੈਕਿਊਮ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜੋ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਠੋਸ ਸਮੱਗਰੀ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਕਸਰ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸੀਵੀਡੀ ਦੁਆਰਾ SiC ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਐਕਸਪ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
ਐਕਸ-ਰੇ ਟੋਪੋਲੋਜੀਕਲ ਇਮੇਜਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਰੇ ਟਰੇਸਿੰਗ ਸਿਮੂਲੇਸ਼ਨ ਦੁਆਰਾ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿੱਚ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ ਢਾਂਚੇ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ
ਰਿਸਰਚ ਬੈਕਗ੍ਰਾਊਂਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੀ ਮਹੱਤਤਾ: ਇੱਕ ਵਿਆਪਕ ਬੈਂਡਗੈਪ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਨੇ ਆਪਣੀਆਂ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਬਿਜਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵੱਡਾ ਬੈਂਡਗੈਪ, ਉੱਚ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਸੰਤ੍ਰਿਪਤਾ ਵੇਗ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ) ਦੇ ਕਾਰਨ ਬਹੁਤ ਧਿਆਨ ਖਿੱਚਿਆ ਹੈ। ਇਹ ਸਹਾਇਕ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
SiC ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧਾ 3 ਵਿੱਚ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
ਵਿਕਾਸ ਦੀ ਤਸਦੀਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਰੂਪਰੇਖਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਬਾਅਦ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ ਅਤੇ SiC ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਮਾਣਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ। ਵਰਤੇ ਗਏ ਵਿਕਾਸ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਇੱਕ ਸਵੈ-ਵਿਕਸਤ SiC ਇੰਡਕਸ਼ਨ ਗ੍ਰੋਥ ਫਰਨੇਸ ਸੀ ਜਿਸਦਾ ਵਿਕਾਸ ਤਾਪਮਾਨ 2200℃, 200 Pa ਦਾ ਵਾਧਾ ਦਬਾਅ, ਅਤੇ ਇੱਕ ਵਧਿਆ ਹੋਇਆ ਸੀ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ -
SiC ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਗਰੋਥ (ਭਾਗ 2) ਵਿੱਚ ਬੀਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
2. ਪ੍ਰਯੋਗਾਤਮਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ 2.1 ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਦਾ ਇਲਾਜਇਹ ਦੇਖਿਆ ਗਿਆ ਕਿ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਕਾਰਬਨ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣਾ ਜਾਂ ਅਡੈਸਿਵ ਨਾਲ ਲੇਪ ਕੀਤੇ SiC ਵੇਫਰਾਂ 'ਤੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਪੇਪਰ ਨਾਲ ਬੰਧਨ ਕਈ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦਾ ਹੈ: 1. ਵੈਕਿਊਮ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੇ ਤਹਿਤ, SiC ਵੇਫਰਾਂ 'ਤੇ ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਨੇ ਸਕੇਲ ਵਰਗੀ ਦਿੱਖ ਵਿਕਸਿਤ ਕੀਤੀ। ਦਸਤਖਤ ਕਰਨ ਲਈ...ਹੋਰ ਪੜ੍ਹੋ