ਦMOCVDਵਿਧੀ ਇਸ ਸਮੇਂ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲੀਆਂ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲਿਨ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸਿੰਗਲ ਫੇਜ਼ InGaN ਐਪੀਲੇਅਰਜ਼, III-N ਸਮੱਗਰੀਆਂ, ਅਤੇ ਮਲਟੀ ਕੁਆਂਟਮ ਵੈਲ ਸਟ੍ਰਕਚਰ ਵਾਲੀਆਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਫਿਲਮਾਂ ਨੂੰ ਵਿਕਸਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਸਭ ਤੋਂ ਸਥਿਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਤਾ ਹੈ। ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਅਤੇ ਆਪਟੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕ ਯੰਤਰਾਂ ਦਾ ਨਿਰਮਾਣ।
ਦSiC ਕੋਟਿੰਗ MOCVD ਸੰਸਪੈਕਟਰਲਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਨਾਲ ਲੇਪ ਵਾਲਾ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਵੇਫਰ ਧਾਰਕ ਹੈepitaxial ਧਾਤ ਜੈਵਿਕ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (MOCVD) ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਾਧਾ.
SiC ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਹੈ, ਇਸ ਨੂੰ ਐਮਓਸੀਵੀਡੀ ਸੰਸਪੈਕਟਰਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਆਦਰਸ਼ ਵਿਕਲਪ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ ਜੋ ਐਪੀਟੈਕਸੀਲ ਵਿਕਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਮੰਗ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।
MOCVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦਾ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸਾ ਸੁਸਸੈਪਟਰ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀਆਂ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਤੱਤ ਹੈ।
ਇੱਕ ਸ਼ੱਕਰ ਕੀ ਹੈ? ਸਸਸੈਪਟਰ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੈ ਜੋ MOCVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਸਮਰਥਨ ਅਤੇ ਗਰਮ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਜਿਸ 'ਤੇ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਸਦੇ ਕਈ ਕਾਰਜ ਹਨ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਊਰਜਾ ਨੂੰ ਜਜ਼ਬ ਕਰਨਾ, ਇਸਨੂੰ ਗਰਮੀ ਵਿੱਚ ਬਦਲਣਾ, ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਤੇ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਸਮਾਨ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਵੰਡਣਾ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ। ਇਹ ਇਕਸਾਰ ਹੀਟਿੰਗ ਸਟੀਕ ਮੋਟਾਈ ਅਤੇ ਰਚਨਾ ਦੇ ਨਾਲ ਇਕਸਾਰ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੇ ਵਾਧੇ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।
ਸੰਵੇਦਕਾਂ ਦੀਆਂ ਕਿਸਮਾਂ:
1. ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸੰਸਪੇਟਰ: ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸੰਸਪੈਕਟਰ ਅਕਸਰ ਇੱਕ ਸੁਰੱਖਿਆ ਪਰਤ ਨਾਲ ਲੇਪ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਜਿਵੇਂ ਕਿਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC), ਜੋ ਕਿ ਇਸਦੀ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਲਈ ਜਾਣਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਦSiC ਪਰਤਇੱਕ ਸਖ਼ਤ, ਸੁਰੱਖਿਆ ਵਾਲੀ ਸਤਹ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ ਜੋ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ 'ਤੇ ਖੋਰ ਅਤੇ ਪਤਨ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰਦੀ ਹੈ।
2. ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਸਸਪੇਟਰ: ਇਹ ਸੰਸਪੇਟਰ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ SiC ਦੇ ਬਣੇ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਰੱਖਦੇ ਹਨ। SiC susceptors ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਅਤੇ ਖਰਾਬ ਵਾਤਾਵਰਨ ਲਈ ਢੁਕਵੇਂ ਹਨ।
MOCVD ਵਿੱਚ ਸ਼ੱਕੀ ਕਿਵੇਂ ਕੰਮ ਕਰਦੇ ਹਨ:
MOCVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਪੂਰਵਗਾਮੀ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਜਿੱਥੇ ਉਹ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਸੁਸਪੈਕਟਰ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਕੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਣ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਸਮਾਨ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਗਰਮ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਸਮੁੱਚੀ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ ਵਿੱਚ ਇਕਸਾਰ ਫਿਲਮ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਸੰਸਕ੍ਰਿਤ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਅਤੇ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਖਾਸ ਲੋੜਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਧਿਆਨ ਨਾਲ ਚੁਣਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਤਾਪਮਾਨ ਸੀਮਾ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਅਨੁਕੂਲਤਾ।
ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਸੰਸਪੈਕਟਰਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਦੇ ਫਾਇਦੇ:
• ਵਧੀ ਹੋਈ ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ: ਇਕਸਾਰ ਤਾਪ ਵੰਡ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਕੇ, ਸੁਸਪੈਕਟਰ ਇਕਸਾਰ ਮੋਟਾਈ ਅਤੇ ਰਚਨਾ ਨਾਲ ਫਿਲਮਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਯੰਤਰਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।
• ਸੁਧਾਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ: ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੇ ਸੰਸਪੈਕਟਰ ਨੁਕਸ ਦੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਨੂੰ ਘਟਾ ਕੇ ਅਤੇ ਵਰਤੋਂ ਯੋਗ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਉਪਜ ਨੂੰ ਵਧਾ ਕੇ MOCVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸਮੁੱਚੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੇ ਹਨ।
• ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ: ਟਿਕਾਊ ਸਮੱਗਰੀ ਜਿਵੇਂ ਕਿ SiC ਤੋਂ ਬਣੇ ਸਸਪੇਟਰ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੇ ਖਰਚੇ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ।
ਸਸਸੈਪਟਰ MOCVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਅਨਿੱਖੜਵਾਂ ਅੰਗ ਹੈ ਅਤੇ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਉਪਲਬਧ ਆਕਾਰਾਂ, MOCVD ਸੰਸਪੈਕਟਰਾਂ ਅਤੇ ਕੀਮਤਾਂ ਬਾਰੇ ਵਧੇਰੇ ਜਾਣਕਾਰੀ ਲਈ, ਕਿਰਪਾ ਕਰਕੇ ਸਾਡੇ ਨਾਲ ਸੰਪਰਕ ਕਰਨ ਤੋਂ ਝਿਜਕੋ ਨਾ। ਸਾਡੇ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਤੁਹਾਨੂੰ ਢੁਕਵੀਂ ਸਮੱਗਰੀ ਬਾਰੇ ਸਲਾਹ ਦੇਣ ਅਤੇ ਤੁਹਾਡੇ ਸਾਰੇ ਸਵਾਲਾਂ ਦੇ ਜਵਾਬ ਦੇਣ ਵਿੱਚ ਖੁਸ਼ ਹੋਣਗੇ।
ਫ਼ੋਨ: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਅਗਸਤ-12-2024