ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵੇਫਰ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ

ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵੇਫਰਕੱਚੇ ਮਾਲ ਦੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਪਾਊਡਰ ਅਤੇ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਕਾਰਬਨ ਪਾਊਡਰ ਦਾ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਵਿਧੀ (PVT) ਦੁਆਰਾ ਉਗਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵੇਫਰ.

1. ਕੱਚਾ ਮਾਲ ਸੰਸਲੇਸ਼ਣ:

ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਪਾਊਡਰ ਅਤੇ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਕਾਰਬਨ ਪਾਊਡਰ ਨੂੰ ਇੱਕ ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਅਨੁਪਾਤ ਅਨੁਸਾਰ ਮਿਲਾਇਆ ਗਿਆ ਸੀ, ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕਣਾਂ ਨੂੰ 2,000 ℃ ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਸੰਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ। ਪਿੜਾਈ, ਸਫਾਈ ਅਤੇ ਹੋਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਪਾਊਡਰ ਕੱਚਾ ਮਾਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਜੋ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਦਾ ਹੈ।

2. ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧਾ:

ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਦੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ SIC ਪਾਊਡਰ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਨੂੰ ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ (PVT) ਵਿਧੀ ਦੁਆਰਾ ਸਵੈ-ਵਿਕਸਤ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਭੱਠੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਉਗਾਇਆ ਗਿਆ ਸੀ।

3.ingot ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ:

ਪ੍ਰਾਪਤ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਇੰਗੌਟ ਨੂੰ ਐਕਸ-ਰੇ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਓਰੀਐਂਟੇਟਰ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ, ਫਿਰ ਜ਼ਮੀਨ ਅਤੇ ਰੋਲਡ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ, ਅਤੇ ਮਿਆਰੀ ਵਿਆਸ ਦੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ।

4. ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਕੱਟਣਾ:

ਮਲਟੀ-ਲਾਈਨ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕ੍ਰਿਸਟਲ 1mm ਤੋਂ ਵੱਧ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਦੇ ਨਾਲ ਪਤਲੇ ਸ਼ੀਟਾਂ ਵਿੱਚ ਕੱਟੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।

5. ਚਿੱਪ ਪੀਸਣਾ:

ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਣਾਂ ਦੇ ਆਕਾਰਾਂ ਦੇ ਹੀਰੇ ਪੀਸਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੁਆਰਾ ਲੋੜੀਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਖੁਰਦਰਾਪਨ 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

6. ਚਿੱਪ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ:

ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਅਤੇ ਕੈਮੀਕਲ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਸਤਹ ਨੂੰ ਨੁਕਸਾਨ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ ਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸੀ।

7.ਚਿੱਪ ਖੋਜ:

ਮਾਈਕ੍ਰੋਟਿਊਬਿਊਲ ਘਣਤਾ, ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਗੁਣਵੱਤਾ, ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ, ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ, ਵਾਰਪੇਜ, ਵਕਰਤਾ, ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ ਲਈ ਆਪਟੀਕਲ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ, ਐਕਸ-ਰੇ ਡਿਫ੍ਰੈਕਟੋਮੀਟਰ, ਐਟੋਮਿਕ ਫੋਰਸ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ, ਗੈਰ-ਸੰਪਰਕ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ ਟੈਸਟਰ, ਸਤਹ ਫਲੈਟਨੈੱਸ ਟੈਸਟਰ, ਸਤਹ ਦੇ ਨੁਕਸ ਵਿਆਪਕ ਟੈਸਟਰ ਅਤੇ ਹੋਰ ਯੰਤਰਾਂ ਅਤੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ। ਮੋਟਾਈ ਤਬਦੀਲੀ, ਸਤਹ ਸਕ੍ਰੈਚ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦੇ ਹੋਰ ਮਾਪਦੰਡ ਵੇਫਰ ਇਸ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਚਿੱਪ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦਾ ਪੱਧਰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ.

8.ਚਿੱਪ ਸਫਾਈ:

ਸਿਲਿਕਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਸ਼ੀਟ ਨੂੰ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਸ਼ੀਟ 'ਤੇ ਬਚੇ ਹੋਏ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਤਰਲ ਅਤੇ ਹੋਰ ਸਤਹ ਦੀ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਸਫਾਈ ਏਜੰਟ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧ ਪਾਣੀ ਨਾਲ ਸਾਫ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਅਤਿ-ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਅਤੇ ਸੁਕਾਉਣ ਵਾਲੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੁਆਰਾ ਉਡਾ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਹਿਲਾ ਕੇ ਸੁੱਕਾ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ; ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਇੱਕ ਸੁਪਰ-ਕਲੀਨ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਕਲੀਨ ਸ਼ੀਟ ਬਾਕਸ ਵਿੱਚ ਕੈਪਸੂਲੇਟ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਤਿਆਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਵੇਫਰ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ।

ਚਿੱਪ ਦਾ ਆਕਾਰ ਜਿੰਨਾ ਵੱਡਾ ਹੋਵੇਗਾ, ਸੰਬੰਧਿਤ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਅਤੇ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਓਨੀ ਹੀ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੋਵੇਗੀ, ਅਤੇ ਡਾਊਨਸਟ੍ਰੀਮ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਜਿੰਨੀ ਉੱਚੀ ਹੋਵੇਗੀ, ਯੂਨਿਟ ਦੀ ਲਾਗਤ ਓਨੀ ਹੀ ਘੱਟ ਹੋਵੇਗੀ।