2. ਪ੍ਰਯੋਗਾਤਮਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
2.1 ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਦਾ ਇਲਾਜ
ਇਹ ਦੇਖਿਆ ਗਿਆ ਸੀ ਕਿ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਕਾਰਬਨ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣਾ ਜਾਂ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਪੇਪਰ ਨਾਲ ਬੰਧਨ ਕਰਨਾSiC ਵੇਫਰਸਿਚਪਕਣ ਨਾਲ ਲੇਪ ਨਾਲ ਕਈ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ:
1. ਵੈਕਿਊਮ ਹਾਲਾਤ ਦੇ ਤਹਿਤ, 'ਤੇ ਿਚਪਕਣ ਫਿਲਮSiC ਵੇਫਰਸਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਵਾ ਰੀਲੀਜ਼ ਦੇ ਕਾਰਨ ਇੱਕ ਸਕੇਲ ਵਰਗੀ ਦਿੱਖ ਵਿਕਸਿਤ ਕੀਤੀ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਸਤਹ ਦੀ ਪੋਰੋਸਿਟੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਨੇ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀਆਂ ਪਰਤਾਂ ਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਬੰਨ੍ਹਣ ਤੋਂ ਰੋਕਿਆ।
2. ਬੰਧਨ ਦੇ ਦੌਰਾਨ, ਦਵੇਫਰਇੱਕ ਵਾਰ ਵਿੱਚ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਪੇਪਰ ਉੱਤੇ ਰੱਖਿਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਪੁਨਰ-ਸਥਾਪਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਅਸਮਾਨ ਦਬਾਅ ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਘਟਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਬੰਧਨ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।
3. ਵੈਕਿਊਮ ਓਪਰੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਪਰਤ ਤੋਂ ਹਵਾ ਦੀ ਰਿਹਾਈ ਕਾਰਨ ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਦੇ ਅੰਦਰ ਛਿੱਲਣ ਅਤੇ ਕਈ ਵੋਇਡਜ਼ ਦੇ ਗਠਨ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਬੰਧਨ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਮੁੱਦੇ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕਰਨ ਲਈ, 'ਤੇ ਿਚਪਕਣ ਪ੍ਰੀ-ਸੁਕਾਉਣਵੇਫਰ ਦੇਸਪਿਨ-ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਬਾਅਦ ਇੱਕ ਗਰਮ ਪਲੇਟ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ ਬੰਧਨ ਵਾਲੀ ਸਤਹ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
2.2 ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
'ਤੇ ਇੱਕ ਕਾਰਬਨ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆSiC ਬੀਜ ਵੇਫਰਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਪੇਪਰ ਨਾਲ ਜੋੜਨ ਲਈ ਇੱਕ ਖਾਸ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਪਰਤ ਦੇ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਤੰਗ ਬੰਧਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ। ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਪਰਤ ਦਾ ਅਧੂਰਾ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਇਸਦੇ ਸੜਨ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਨੂੰ ਛੱਡਦਾ ਹੈ ਜੋ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਿਕਾਸ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਲਈ, ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਵਾਲੇ ਬੰਧਨ ਲਈ ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਪਰਤ ਦੀ ਪੂਰੀ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਇਹ ਅਧਿਐਨ ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੇ ਕਾਰਬਨੀਕਰਨ 'ਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਰਦਾ ਹੈ। 'ਤੇ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਦੀ ਇਕਸਾਰ ਪਰਤ ਲਾਗੂ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸੀਵੇਫਰਸਤ੍ਹਾ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ (<10 Pa) ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਇੱਕ ਟਿਊਬ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਰੱਖਿਆ ਗਿਆ। ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਪੂਰਵ-ਨਿਰਧਾਰਤ ਪੱਧਰਾਂ (400℃, 500℃, ਅਤੇ 600℃) ਤੱਕ ਵਧਾਇਆ ਗਿਆ ਸੀ ਅਤੇ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ 3-5 ਘੰਟਿਆਂ ਲਈ ਬਣਾਈ ਰੱਖਿਆ ਗਿਆ ਸੀ।
ਪ੍ਰਯੋਗ ਦਰਸਾਏ ਗਏ:
400℃ 'ਤੇ, 3 ਘੰਟਿਆਂ ਬਾਅਦ, ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ ਨਹੀਂ ਹੋਈ ਅਤੇ ਗੂੜ੍ਹੇ ਲਾਲ ਦਿਖਾਈ ਦਿੱਤੀ; 4 ਘੰਟਿਆਂ ਬਾਅਦ ਕੋਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਬਦਲਾਅ ਨਹੀਂ ਦੇਖਿਆ ਗਿਆ।
500 ℃ 'ਤੇ, 3 ਘੰਟਿਆਂ ਬਾਅਦ, ਫਿਲਮ ਕਾਲੀ ਹੋ ਗਈ ਪਰ ਫਿਰ ਵੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਪ੍ਰਸਾਰਿਤ ਕੀਤੀ ਗਈ; 4 ਘੰਟਿਆਂ ਬਾਅਦ ਕੋਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤਬਦੀਲੀ ਨਹੀਂ.
600℃ 'ਤੇ, 3 ਘੰਟਿਆਂ ਬਾਅਦ, ਫਿਲਮ ਬਿਨਾਂ ਲਾਈਟ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਦੇ ਕਾਲੀ ਹੋ ਗਈ, ਪੂਰੀ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ।
ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ, ਅਨੁਕੂਲ ਬੰਧਨ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ≥600℃ ਹੋਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।
2.3 ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦਾ ਮੁਲਾਂਕਣ ਕਰਨ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਬੰਧਨ ਪਰਤ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੂਚਕ ਹੈ। ਇਹ ਭਾਗ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਸਪਿਨ ਸਪੀਡ ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੇਂ ਦੀ ਪੜਚੋਲ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਕਸਾਰਤਾ
ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਦੇ u ਨੂੰ ਉਪਯੋਗੀ ਖੇਤਰ ਉੱਤੇ ਘੱਟੋ ਘੱਟ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ Lmin ਅਤੇ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ Lmax ਦੇ ਅਨੁਪਾਤ ਵਜੋਂ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਮਾਪਣ ਲਈ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਪੰਜ ਪੁਆਇੰਟ ਚੁਣੇ ਗਏ ਸਨ, ਅਤੇ ਇਕਸਾਰਤਾ ਦੀ ਗਣਨਾ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸੀ। ਚਿੱਤਰ 4 ਮਾਪ ਦੇ ਬਿੰਦੂਆਂ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ।
SiC ਵੇਫਰ ਅਤੇ ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਵਾਲੇ ਬੰਧਨ ਲਈ, ਤਰਜੀਹੀ ਅਡੈਸਿਵ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ 1-5 µm ਹੈ। 2 µm ਦੀ ਇੱਕ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਚੁਣੀ ਗਈ ਸੀ, ਜੋ ਕਾਰਬਨ ਫਿਲਮ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਅਤੇ ਵੇਫਰ/ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਪੇਪਰ ਬੰਧਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੋਵਾਂ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ਿੰਗ ਅਡੈਸਿਵ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਸਪਿੱਨ-ਕੋਟਿੰਗ ਪੈਰਾਮੀਟਰ 2500 r/min 'ਤੇ 15 s, ਅਤੇ ਬੰਧਨ ਅਡੈਸਿਵ ਲਈ, 2000 r/min 'ਤੇ 15 s ਹਨ।
2.4 ਬੰਧਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ
ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ/ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਪੇਪਰ ਨਾਲ SiC ਵੇਫਰ ਦੇ ਬੰਧਨ ਦੇ ਦੌਰਾਨ, ਬੰਧਨ ਪਰਤ ਤੋਂ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਪੈਦਾ ਹੋਈ ਹਵਾ ਅਤੇ ਜੈਵਿਕ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਖਤਮ ਕਰਨਾ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਅਧੂਰੇ ਗੈਸ ਦੇ ਖਾਤਮੇ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਖਾਲੀ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਗੈਰ-ਸੰਘਣੀ ਬੰਧਨ ਪਰਤ ਬਣ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਮਕੈਨੀਕਲ ਤੇਲ ਪੰਪ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਹਵਾ ਅਤੇ ਜੈਵਿਕ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਸ਼ੁਰੂ ਵਿੱਚ, ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੰਪ ਦਾ ਨਿਰੰਤਰ ਸੰਚਾਲਨ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਆਪਣੀ ਸੀਮਾ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਬੰਧਨ ਪਰਤ ਤੋਂ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਹਵਾ ਕੱਢਣ ਦੀ ਆਗਿਆ ਮਿਲਦੀ ਹੈ। ਤੇਜ਼ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਵਾਧਾ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਸਮੇਂ ਸਿਰ ਗੈਸ ਦੇ ਖਾਤਮੇ ਨੂੰ ਰੋਕ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਬੰਧਨ ਪਰਤ ਵਿੱਚ ਖਾਲੀ ਥਾਂ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ≤120℃ 'ਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਆਊਟਗੈਸਿੰਗ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਇਸ ਤਾਪਮਾਨ ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਸਥਿਰ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।
ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਦੀ ਘਣਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਬੰਧਨ ਦੇ ਦੌਰਾਨ ਬਾਹਰੀ ਦਬਾਅ ਲਾਗੂ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਹਵਾ ਅਤੇ ਜੈਵਿਕ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢਣ ਦੀ ਸਹੂਲਤ ਮਿਲਦੀ ਹੈ, ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਵਾਲੀ ਬੰਧਨ ਪਰਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
ਸੰਖੇਪ ਵਿੱਚ, ਚਿੱਤਰ 5 ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਬੰਧਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰਵ ਵਿਕਸਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ। ਖਾਸ ਦਬਾਅ ਦੇ ਅਧੀਨ, ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਗੈਸ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਤਾਪਮਾਨ (~120℃) ਤੱਕ ਵਧਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਆਉਟਗੈਸਿੰਗ ਪੂਰਾ ਹੋਣ ਤੱਕ ਰੋਕਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਫਿਰ, ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਤਾਪਮਾਨ ਤੱਕ ਵਧਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਲੋੜੀਂਦੀ ਮਿਆਦ ਲਈ ਬਣਾਈ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਕੁਦਰਤੀ ਕੂਲਿੰਗ, ਦਬਾਅ ਛੱਡਣ ਅਤੇ ਬੰਧੂਆ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ.
ਸੈਕਸ਼ਨ 2.2 ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਨੂੰ 3 ਘੰਟਿਆਂ ਤੋਂ ਵੱਧ ਲਈ 600℃ 'ਤੇ ਕਾਰਬਨਾਈਜ਼ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਬੰਧਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰਵ ਵਿੱਚ, T2 ਨੂੰ 600℃ ਅਤੇ t2 ਨੂੰ 3 ਘੰਟੇ ਤੱਕ ਸੈੱਟ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਬੰਧਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਕਰ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਮੁੱਲ, ਬੰਧਨ ਦੇ ਦਬਾਅ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵਾਂ ਦਾ ਅਧਿਐਨ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਔਰਥੋਗੋਨਲ ਪ੍ਰਯੋਗਾਂ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤੇ ਗਏ, ਪਹਿਲੇ-ਪੜਾਅ ਦੇ ਹੀਟਿੰਗ ਟਾਈਮ t1, ਅਤੇ ਦੂਜੇ-ਪੜਾਅ ਦੇ ਹੀਟਿੰਗ ਟਾਈਮ t2 ਨੂੰ ਬੰਧਨ ਦੇ ਨਤੀਜਿਆਂ 'ਤੇ, ਟੇਬਲ 2-4 ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ।
ਨਤੀਜੇ ਦਰਸਾਏ ਗਏ:
5 kN ਦੇ ਬੰਧਨ ਦੇ ਦਬਾਅ 'ਤੇ, ਹੀਟਿੰਗ ਦੇ ਸਮੇਂ ਦਾ ਬੰਧਨ 'ਤੇ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ।
10 kN 'ਤੇ, ਬੰਧਨ ਪਰਤ ਵਿੱਚ ਖਾਲੀ ਖੇਤਰ ਲੰਬੇ ਪਹਿਲੇ-ਪੜਾਅ ਦੇ ਹੀਟਿੰਗ ਨਾਲ ਘਟ ਗਿਆ।
15 kN 'ਤੇ, ਪਹਿਲੇ-ਪੜਾਅ ਦੇ ਹੀਟਿੰਗ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਨਾਲ ਵੋਇਡਜ਼ ਨੂੰ ਕਾਫ਼ੀ ਘਟਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਬੰਧਨ 'ਤੇ ਦੂਜੇ ਪੜਾਅ ਦੇ ਹੀਟਿੰਗ ਸਮੇਂ ਦਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਆਰਥੋਗੋਨਲ ਟੈਸਟਾਂ ਵਿੱਚ ਸਪੱਸ਼ਟ ਨਹੀਂ ਸੀ। ਬੌਡਿੰਗ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਨੂੰ 15 kN ਅਤੇ ਪਹਿਲੇ ਪੜਾਅ ਦੇ ਹੀਟਿੰਗ ਸਮੇਂ ਨੂੰ 90 ਮਿੰਟ 'ਤੇ ਫਿਕਸ ਕਰਨਾ, 30, 60, ਅਤੇ 90 ਮਿੰਟ ਦੇ ਦੂਜੇ-ਪੜਾਅ ਦੇ ਹੀਟਿੰਗ ਸਮੇਂ, ਸਭ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਖਾਲੀ-ਰਹਿਤ ਸੰਘਣੀ ਬੰਧਨ ਲੇਅਰਾਂ ਬਣ ਗਈਆਂ, ਜੋ ਦੂਜੇ-ਪੜਾਅ ਦੇ ਹੀਟਿੰਗ ਸਮੇਂ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਬੰਧਨ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਪ੍ਰਭਾਵ.
ਬੰਧਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਕਰ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਮੁੱਲ ਹਨ: ਬੰਧਨ ਦਬਾਅ 15 kN, ਪਹਿਲੇ ਪੜਾਅ ਦਾ ਹੀਟਿੰਗ ਸਮਾਂ 90 ਮਿੰਟ, ਪਹਿਲੇ ਪੜਾਅ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ 120 ℃, ਦੂਜੇ ਪੜਾਅ ਦਾ ਹੀਟਿੰਗ ਸਮਾਂ 30 ਮਿੰਟ, ਦੂਜੇ ਪੜਾਅ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ 600 ℃, ਅਤੇ ਦੂਜੇ ਪੜਾਅ ਦਾ ਹੋਲਡਿੰਗ ਸਮਾਂ 3 ਘੰਟੇ।
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਜੂਨ-11-2024