ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਵਿੱਚ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਸਮੱਗਰੀ: ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC)

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ, ਵਸਰਾਵਿਕ ਹਿੱਸੇ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਣ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨਫੋਕਸ ਰਿੰਗ.ਦ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ, ਵੇਫਰ ਦੇ ਆਲੇ-ਦੁਆਲੇ ਅਤੇ ਇਸਦੇ ਸਿੱਧੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਰੱਖਿਆ ਗਿਆ, ਰਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵੋਲਟੇਜ ਲਗਾ ਕੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਵੇਫਰ ਉੱਤੇ ਫੋਕਸ ਕਰਨ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਇਹ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ।

ਐਚਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ

SiC CVD ਹਿੱਸੇਐਚਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਜਿਵੇਂ ਕਿਫੋਕਸ ਰਿੰਗ, ਗੈਸ ਸ਼ਾਵਰਹੈੱਡ, ਪਲੈਟਨਜ਼, ਅਤੇ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀਆਂ ਰਿੰਗਾਂ, ਕਲੋਰੀਨ ਅਤੇ ਫਲੋਰੀਨ-ਆਧਾਰਿਤ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਸੰਚਾਲਕਤਾ ਦੇ ਨਾਲ SiC ਦੀ ਘੱਟ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਸ਼ੀਲਤਾ ਦੇ ਕਾਰਨ ਅਨੁਕੂਲ ਹਨ, ਇਸ ਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਆਦਰਸ਼ ਸਮੱਗਰੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।

ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਤੌਰ 'ਤੇ SiC ਦੇ ਫਾਇਦੇ

ਵੈਕਿਊਮ ਰਿਐਕਸ਼ਨ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੇ ਸਿੱਧੇ ਸੰਪਰਕ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ-ਰੋਧਕ ਸਮੱਗਰੀ ਤੋਂ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਪਰੰਪਰਾਗਤ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਜਾਂ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਤੋਂ ਬਣੀਆਂ, ਫਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਮਾੜੀ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਤੋਂ ਪੀੜਤ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਖੋਰ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

Si ਅਤੇ CVD SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਤੁਲਨਾ:

1. ਉੱਚ ਘਣਤਾ:ਐਚਿੰਗ ਵਾਲੀਅਮ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।

2. ਵਾਈਡ ਬੈਂਡਗੈਪ: ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ.

    3. ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਕੰਡਕਟੀਵਿਟੀ ਅਤੇ ਘੱਟ ਪਸਾਰ ਗੁਣਾਂਕ: ਥਰਮਲ ਸਦਮੇ ਪ੍ਰਤੀ ਰੋਧਕ.

    4. ਉੱਚ ਲਚਕਤਾ:ਮਕੈਨੀਕਲ ਪ੍ਰਭਾਵ ਲਈ ਚੰਗਾ ਵਿਰੋਧ.

    5. ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ: ਪਹਿਨਣ ਅਤੇ ਖੋਰ-ਰੋਧਕ.

SiC ionic ਐਚਿੰਗ ਲਈ ਵਧੀਆ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੇ ਹੋਏ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਚਾਲਕਤਾ ਨੂੰ ਸਾਂਝਾ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਜਿਵੇਂ-ਜਿਵੇਂ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟ ਮਿਨੀਏਚਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਅੱਗੇ ਵਧਦਾ ਹੈ, ਵਧੇਰੇ ਕੁਸ਼ਲ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਮੰਗ ਵਧਦੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ, ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਜੋ ਕੈਪੇਸਿਟਿਵ ਕਪਲਡ ਪਲਾਜ਼ਮਾ (ਸੀਸੀਪੀ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਨੂੰ ਉੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਊਰਜਾ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਬਣਾਉਣਾSiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਵਧਦੀ ਪ੍ਰਸਿੱਧ.

Si ਅਤੇ CVD SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਪੈਰਾਮੀਟਰ:

ਪੈਰਾਮੀਟਰ	ਸਿਲੀਕਾਨ (Si)	CVD ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC)
ਘਣਤਾ (g/cm³)	2.33	3.21
ਬੈਂਡ ਗੈਪ (eV)	1.12	2.3
ਥਰਮਲ ਕੰਡਕਟੀਵਿਟੀ (W/cm°C)	1.5	5
ਥਰਮਲ ਵਿਸਤਾਰ ਗੁਣਾਂਕ (x10⁻⁶/°C)	2.6	4
ਲਚਕੀਲੇ ਮਾਡਿਊਲਸ (GPa)	150	440
ਕਠੋਰਤਾ	ਨੀਵਾਂ	ਉੱਚਾ

 

SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਸੀਵੀਡੀ (ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ) ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ SiC ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਨੂੰ SIC ਨੂੰ ਖਾਸ ਆਕਾਰਾਂ ਵਿੱਚ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਕੇ, ਅੰਤਮ ਉਤਪਾਦ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਮਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਸਮੱਗਰੀ ਅਨੁਪਾਤ ਵਿਆਪਕ ਪ੍ਰਯੋਗਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ ਵਰਗੇ ਮਾਪਦੰਡ ਇਕਸਾਰ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਵੱਖੋ-ਵੱਖਰੇ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਨੂੰ ਵੱਖੋ-ਵੱਖਰੇ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਹਰੇਕ ਨਿਰਧਾਰਨ ਲਈ ਨਵੇਂ ਸਮੱਗਰੀ ਅਨੁਪਾਤ ਪ੍ਰਯੋਗਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਸਮਾਂ ਲੈਣ ਵਾਲਾ ਅਤੇ ਮਹਿੰਗਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਚੁਣ ਕੇSiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਤੋਂਸੈਮੀਸੇਰਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ, ਗਾਹਕ ਲਾਗਤ ਵਿੱਚ ਕਾਫ਼ੀ ਵਾਧਾ ਕੀਤੇ ਬਿਨਾਂ ਲੰਬੇ ਬਦਲਣ ਵਾਲੇ ਚੱਕਰਾਂ ਅਤੇ ਉੱਤਮ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੇ ਲਾਭ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।

ਰੈਪਿਡ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ (RTP) ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ

CVD SiC ਦੀਆਂ ਬੇਮਿਸਾਲ ਥਰਮਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਇਸ ਨੂੰ RTP ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਬਣਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ। RTP ਕੰਪੋਨੈਂਟ, ਕਿਨਾਰੇ ਦੀਆਂ ਰਿੰਗਾਂ ਅਤੇ ਪਲੇਟਾਂ ਸਮੇਤ, CVD SiC ਤੋਂ ਲਾਭ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। RTP ਦੇ ਦੌਰਾਨ, ਤੀਬਰ ਤਾਪ ਦਾਲਾਂ ਨੂੰ ਥੋੜ੍ਹੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਵਿਅਕਤੀਗਤ ਵੇਫਰਾਂ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਠੰਢਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। CVD SiC ਕਿਨਾਰੇ ਦੀਆਂ ਰਿੰਗਾਂ, ਪਤਲੇ ਹੋਣ ਅਤੇ ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਪੁੰਜ ਹੋਣ ਕਾਰਨ, ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤਾਪ ਬਰਕਰਾਰ ਨਹੀਂ ਰੱਖਦੇ, ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਹੀਟਿੰਗ ਅਤੇ ਕੂਲਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਨਹੀਂ ਕਰਦੇ।

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ

CVD SiC ਦਾ ਉੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਇਸ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਐਚਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਵੰਡਣ ਲਈ CVD SiC ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਫੈਲਾਅ ਲਈ ਹਜ਼ਾਰਾਂ ਛੋਟੇ ਛੇਕ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਵਿਕਲਪਕ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ, CVD SiC ਦੀ ਕਲੋਰੀਨ ਅਤੇ ਫਲੋਰੀਨ ਗੈਸਾਂ ਨਾਲ ਘੱਟ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ, CVD SiC ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਜਿਵੇਂ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ, ICP ਪਲੇਟੈਂਸ, ਬਾਊਂਡਰੀ ਰਿੰਗ, ਅਤੇ ਸ਼ਾਵਰਹੈੱਡ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।

SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਫੋਕਸਿੰਗ ਲਈ ਲਾਗੂ ਕੀਤੀ ਵੋਲਟੇਜ ਦੇ ਨਾਲ, ਲੋੜੀਂਦੀ ਸੰਚਾਲਕਤਾ ਹੋਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੇ ਬਣੇ, ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਫਲੋਰੀਨ ਅਤੇ ਕਲੋਰੀਨ ਵਾਲੀਆਂ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸਾਂ ਦੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਆਉਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਅਟੱਲ ਖੋਰ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ, ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਵਧੀਆ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੇ ਨਾਲ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਰਿੰਗਾਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ ਲੰਬੀ ਉਮਰ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ।

ਜੀਵਨ ਚੱਕਰ ਦੀ ਤੁਲਨਾ:

· SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ:ਹਰ 15 ਤੋਂ 20 ਦਿਨਾਂ ਬਾਅਦ ਬਦਲਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
· ਸਿਲੀਕਾਨ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ:ਹਰ 10 ਤੋਂ 12 ਦਿਨਾਂ ਬਾਅਦ ਬਦਲਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

SiC ਰਿੰਗਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਰਿੰਗਾਂ ਨਾਲੋਂ 2 ਤੋਂ 3 ਗੁਣਾ ਜ਼ਿਆਦਾ ਮਹਿੰਗੀਆਂ ਹੋਣ ਦੇ ਬਾਵਜੂਦ, ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਰਿਪਲੇਸਮੈਂਟ ਚੱਕਰ ਸਮੁੱਚੀ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਰੀਪਲੇਸਮੈਂਟ ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਕਿਉਂਕਿ ਜਦੋਂ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਬਦਲਣ ਲਈ ਖੋਲ੍ਹਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਸਾਰੇ ਪਹਿਨਣ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਬਦਲੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।

ਸੈਮੀਸੇਰਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਦੇ SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਜ਼

ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਲਗਭਗ 30 ਦਿਨਾਂ ਦੇ ਲੀਡ ਟਾਈਮ ਦੇ ਨਾਲ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਰਿੰਗਾਂ ਦੇ ਨੇੜੇ ਦੀਆਂ ਕੀਮਤਾਂ 'ਤੇ SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਦੇ SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਕਰਨ ਨਾਲ, ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਅਤੇ ਲੰਬੀ ਉਮਰ ਵਿੱਚ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੁਧਾਰ ਹੋਇਆ ਹੈ, ਸਮੁੱਚੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੇ ਖਰਚਿਆਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਖਾਸ ਗਾਹਕਾਂ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਦੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ.

ਸੇਮੀਸੇਰਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਤੋਂ SiC ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਕੇ, ਗਾਹਕ ਲਾਗਤ ਵਿੱਚ ਕਾਫ਼ੀ ਵਾਧਾ ਕੀਤੇ ਬਿਨਾਂ ਲੰਬੇ ਬਦਲਣ ਵਾਲੇ ਚੱਕਰਾਂ ਅਤੇ ਵਧੀਆ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੇ ਲਾਭ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।