CVD SiC ਕੀ ਹੈ?
ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ (ਸੀਵੀਡੀ) ਇੱਕ ਵੈਕਿਊਮ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜੋ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਠੋਸ ਸਮੱਗਰੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਕਸਰ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸੀਵੀਡੀ ਦੁਆਰਾ SiC ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਇੱਕ ਜਾਂ ਇੱਕ ਤੋਂ ਵੱਧ ਅਸਥਿਰ ਪੂਰਵਜਾਂ ਦੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਆਉਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਲੋੜੀਂਦੇ SiC ਡਿਪਾਜ਼ਿਟ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਦੇ ਹਨ। SiC ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਦੇ ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਤਰੀਕਿਆਂ ਵਿੱਚੋਂ, ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਉਤਪਾਦਾਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਵਿਧੀ ਵਿੱਚ ਮਜ਼ਬੂਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣਯੋਗਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
CVD SiC ਸਮੱਗਰੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਬਹੁਤ ਢੁਕਵੀਂ ਹੈ ਜਿਸ ਲਈ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਗੁਣਾਂ ਦੇ ਵਿਲੱਖਣ ਸੁਮੇਲ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। CVD SiC ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ, MOCVD ਉਪਕਰਣ, Si epitaxial ਉਪਕਰਣ ਅਤੇ SiC epitaxial ਉਪਕਰਣ, ਤੇਜ਼ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਅਤੇ ਹੋਰ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।
ਕੁੱਲ ਮਿਲਾ ਕੇ, CVD SiC ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦਾ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਡਾ ਮਾਰਕੀਟ ਖੰਡ ਹੈ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ। ਕਲੋਰੀਨ- ਅਤੇ ਫਲੋਰੀਨ-ਰੱਖਣ ਵਾਲੀਆਂ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਲਈ ਇਸਦੀ ਘੱਟ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲਤਾ ਅਤੇ ਚਾਲਕਤਾ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਸੀਵੀਡੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਵਰਗੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਲਈ ਇੱਕ ਆਦਰਸ਼ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ।
ਐਚਿੰਗ ਸਾਜ਼ੋ-ਸਾਮਾਨ ਵਿੱਚ CVD ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦੇ ਭਾਗਾਂ ਵਿੱਚ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ, ਗੈਸ ਸ਼ਾਵਰ ਹੈੱਡ, ਟ੍ਰੇ, ਕਿਨਾਰੇ ਦੀਆਂ ਰਿੰਗਾਂ, ਆਦਿ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਨੂੰ ਇੱਕ ਉਦਾਹਰਨ ਵਜੋਂ ਲੈਂਦੇ ਹੋਏ, ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਿੱਸਾ ਹੈ ਜੋ ਵੇਫਰ ਦੇ ਬਾਹਰ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਸਿੱਧੇ ਵੇਫਰ ਦੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਰਿੰਗ ਵਿੱਚੋਂ ਲੰਘਣ ਵਾਲੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਫੋਕਸ ਕਰਨ ਲਈ ਰਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵੋਲਟੇਜ ਲਾਗੂ ਕਰਕੇ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਲਈ ਵੇਫਰ ਉੱਤੇ ਕੇਂਦਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਰਵਾਇਤੀ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਸਿਲੀਕਾਨ ਜਾਂ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਦੇ ਬਣੇ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟ ਮਿਨੀਏਚਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੀ ਤਰੱਕੀ ਦੇ ਨਾਲ, ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਮੰਗ ਅਤੇ ਮਹੱਤਤਾ ਵਧ ਰਹੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਸ਼ਕਤੀ ਅਤੇ ਊਰਜਾ ਲਗਾਤਾਰ ਵਧ ਰਹੀ ਹੈ। ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਕੈਪੇਸਿਟਿਵ ਕਪਲਡ (ਸੀਸੀਪੀ) ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਲੋੜੀਂਦੀ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਊਰਜਾ ਵੱਧ ਹੈ, ਇਸਲਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਮੱਗਰੀ ਤੋਂ ਬਣੇ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੀ ਦਰ ਵੱਧ ਰਹੀ ਹੈ। CVD ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਦਾ ਯੋਜਨਾਬੱਧ ਚਿੱਤਰ ਹੇਠਾਂ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ:
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਜੂਨ-20-2024