ਆਰ.ਟੀ.ਪੀCVD SiC ਰਿੰਗਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਖਰਾਬ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਉਦਯੋਗਿਕ ਅਤੇ ਵਿਗਿਆਨਕ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ, ਆਪਟੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ, ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮਸ਼ੀਨਰੀ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਅਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਖਾਸ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
1. ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ:RTP CVD SiC ਰਿੰਗਾਂਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਪਕਰਣਾਂ ਨੂੰ ਗਰਮ ਕਰਨ ਅਤੇ ਠੰਢਾ ਕਰਨ, ਸਥਿਰ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
2. Optoelectronics: ਇਸਦੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਆਰ.ਟੀ.ਪੀ.CVD SiC ਰਿੰਗਲੇਜ਼ਰ, ਫਾਈਬਰ ਆਪਟਿਕ ਸੰਚਾਰ ਉਪਕਰਨ ਅਤੇ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਲਈ ਸਪੋਰਟ ਅਤੇ ਗਰਮੀ ਡਿਸਸੀਪੇਸ਼ਨ ਸਮੱਗਰੀ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
3. ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮਸ਼ੀਨਰੀ: RTP CVD SiC ਰਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਖਰਾਬ ਵਾਤਾਵਰਨ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੀਆਂ ਭੱਠੀਆਂ, ਵੈਕਿਊਮ ਯੰਤਰਾਂ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਰਿਐਕਟਰਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਯੰਤਰਾਂ ਅਤੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
4. ਰਸਾਇਣਕ ਉਦਯੋਗ: ਇਸਦੇ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਕਾਰਨ, RTP CVD SiC ਰਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਅਤੇ ਉਤਪ੍ਰੇਰਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਕੰਟੇਨਰਾਂ, ਪਾਈਪਾਂ ਅਤੇ ਰਿਐਕਟਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
Epi ਸਿਸਟਮ
RTP ਸਿਸਟਮ
ਸੀਵੀਡੀ ਸਿਸਟਮ
ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ:
1. 28nm ਤੋਂ ਹੇਠਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰੋ
2. ਸੁਪਰ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ
3. ਸੁਪਰ ਸਾਫ਼ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ
4. ਸੁਪਰ ਕਠੋਰਤਾ
5. ਉੱਚ ਘਣਤਾ
6. ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ
7. ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਪਹਿਨੋ
ਉਤਪਾਦ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ, ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਵਿਆਪਕ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੇ ਉਤਪਾਦਾਂ ਨੂੰ ਸੁੱਕੀ ਐਚਿੰਗ ਅਤੇ ਟੀਐਫ/ਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ:
1. 28nm ਤੋਂ ਹੇਠਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰੋ
2. ਸੁਪਰ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ
3. ਸੁਪਰ ਸਾਫ਼ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ
4. ਸੁਪਰ ਕਠੋਰਤਾ
5. ਉੱਚ ਘਣਤਾ
6. ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ
7. ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਪਹਿਨੋ
ਸੰਯੁਕਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦਾ ਵਿਕਾਸ:
ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ + Sic ਕੋਟਿੰਗ
ਠੋਸ CvD sic
ਸਿੰਟਰਡ SiC+CVD
SicSintered SiC
ਮਲਟੀਪਲ ਉਤਪਾਦ ਕਿਸਮ ਵਿਕਾਸ:
ਰਿੰਗ
ਟੇਬਲ
ਸ਼ੱਕਰ
ਸ਼ਾਵਰ ਸਿਰ
