ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਮਗਰੀ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ਾਲ ਬੈਂਡ ਗੈਪ ਚੌੜਾਈ (~Si 3 ਗੁਣਾ), ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ (~Si 3.3 ਗੁਣਾ ਜਾਂ GaAs 10 ਗੁਣਾ), ਉੱਚ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਸੰਤ੍ਰਿਪਤਾ ਮਾਈਗ੍ਰੇਸ਼ਨ ਦਰ (~Si 2.5 ਗੁਣਾ), ਉੱਚ ਟੁੱਟਣ ਵਾਲੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਹੈ ਖੇਤਰ (~Si 10 ਵਾਰ ਜਾਂ GaAs 5 ਵਾਰ) ਅਤੇ ਹੋਰ ਵਧੀਆ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ।
ਸੈਮੀਸੇਰਾ ਊਰਜਾ ਗਾਹਕਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਸੰਚਾਲਕ (ਸੰਚਾਲਕ), ਅਰਧ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ (ਸੈਮੀ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ), HPSI (ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਰਧ-ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ) ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਬਸਟਰੇਟ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ; ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਅਸੀਂ ਗਾਹਕਾਂ ਨੂੰ ਸਮਰੂਪ ਅਤੇ ਵਿਪਰੀਤ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਸ਼ੀਟਾਂ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਾਂ; ਅਸੀਂ ਗਾਹਕਾਂ ਦੀਆਂ ਖਾਸ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਸ਼ੀਟ ਨੂੰ ਵੀ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਾਂ, ਅਤੇ ਕੋਈ ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਆਰਡਰ ਮਾਤਰਾ ਨਹੀਂ ਹੈ.
| ਆਈਟਮਾਂ | ਉਤਪਾਦਨ | ਖੋਜ | ਨਕਲੀ |
| ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||
| ਪੌਲੀਟਾਈਪ | 4H | ||
| ਸਤਹ ਸਥਿਤੀ ਤਰੁੱਟੀ | <11-20 >4±0.15° | ||
| ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||
| ਡੋਪੈਂਟ | n-ਕਿਸਮ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ | ||
| ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੈਰਾਮੀਟਰ | |||
| ਵਿਆਸ | 99.5 - 100mm | ||
| ਮੋਟਾਈ | 350±25 μm | ||
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਸਥਿਤੀ | [1-100]±5° | ||
| ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 32.5±1.5mm | ||
| ਸੈਕੰਡਰੀ ਫਲੈਟ ਸਥਿਤੀ | ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਫਲੈਟ ±5° ਤੋਂ 90° CW। ਸਿਲੀਕਾਨ ਚਿਹਰਾ | ||
| ਸੈਕੰਡਰੀ ਫਲੈਟ ਲੰਬਾਈ | 18±1.5mm | ||
| ਟੀ.ਟੀ.ਵੀ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| LTV | ≤2 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | NA |
| ਕਮਾਨ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ਵਾਰਪ | ≤20 μm | ≤45 μm | ≤50 μm |
| ਸਾਹਮਣੇ (ਸੀ-ਫੇਸ) ਖੁਰਦਰੀ (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ਬਣਤਰ | |||
| ਮਾਈਕ੍ਰੋਪਾਈਪ ਘਣਤਾ | ≤1 ea/cm2 | ≤5 ea/cm2 | ≤10 ea/cm2 |
| ਧਾਤੂ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ | ≤5E10 ਐਟਮ/cm2 | NA | |
| ਬੀ.ਪੀ.ਡੀ | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| ਟੀ.ਐੱਸ.ਡੀ | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| ਸਾਹਮਣੇ ਗੁਣਵੱਤਾ | |||
| ਸਾਹਮਣੇ | Si | ||
| ਸਤਹ ਮੁਕੰਮਲ | ਸੀ-ਫੇਸ CMP | ||
| ਕਣ | ≤60ea/ਵੇਫਰ (ਆਕਾਰ≥0.3μm) | NA | |
| ਸਕ੍ਰੈਚਸ | ≤2ea/mm ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ ≤ਵਿਆਸ | ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ≤2*ਵਿਆਸ | NA |
| ਸੰਤਰੇ ਦਾ ਛਿਲਕਾ/ਟੋਏ/ਧੱਬੇ/ਧਾਰੀਆਂ/ਚੀਰ/ਗੰਦਗੀ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | NA | |
| ਕਿਨਾਰੇ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟਸ/ਫ੍ਰੈਕਚਰ/ਹੈਕਸ ਪਲੇਟਾਂ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | NA | |
| ਪੌਲੀਟਾਈਪ ਖੇਤਰ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ≤20% | ਸੰਚਤ ਖੇਤਰ≤30% |
| ਫਰੰਟ ਲੇਜ਼ਰ ਮਾਰਕਿੰਗ | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ||
| ਵਾਪਸ ਗੁਣਵੱਤਾ | |||
| ਵਾਪਸ ਮੁਕੰਮਲ | C-ਚਿਹਰਾ CMP | ||
| ਸਕ੍ਰੈਚਸ | ≤5ea/mm, ਸੰਚਤ ਲੰਬਾਈ≤2*ਵਿਆਸ | NA | |
| ਪਿਛਲੇ ਨੁਕਸ (ਕਿਨਾਰੇ ਚਿਪਸ/ਇੰਡੈਂਟ) | ਕੋਈ ਨਹੀਂ | ||
| ਵਾਪਸ ਮੋਟਾਪਨ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ਪਿੱਛੇ ਲੇਜ਼ਰ ਮਾਰਕਿੰਗ | 1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ (ਚੋਟੀ ਦੇ ਕਿਨਾਰੇ ਤੋਂ) | ||
| ਕਿਨਾਰਾ | |||
| ਕਿਨਾਰਾ | ਚੈਂਫਰ | ||
| ਪੈਕੇਜਿੰਗ | |||
| ਪੈਕੇਜਿੰਗ | ਅੰਦਰਲਾ ਬੈਗ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਨਾਲ ਭਰਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਬਾਹਰੀ ਬੈਗ ਖਾਲੀ ਕਰ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਮਲਟੀ-ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ, ਐਪੀ-ਰੈਡੀ. | ||
| *ਨੋਟ: "NA" ਦਾ ਮਤਲਬ ਕੋਈ ਬੇਨਤੀ ਨਹੀਂ ਆਈਟਮਾਂ ਦਾ ਜ਼ਿਕਰ ਨਹੀਂ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਉਹ SEMI-STD ਦਾ ਹਵਾਲਾ ਦੇ ਸਕਦੇ ਹਨ। | |||
